纳米表征与纳米中心-冷、热、力、电台的功能材料与器件研究

本中心在国家实验室和王中林院士的领导下，从2010起开始建设，历时3年，现已成功安装四台电子显微镜，它们分别是：300 kV电子束球差校正透射电子显微镜（300 kV Titan Probe corrected TEM，Titan G2 60-300），扫描电镜/聚焦离子束电镜系统(Quanta 3D FEG Dualbeam),200 kV高分辨透射电子显微镜（200 kV HRTEM,Tecnai G2 20 U-Twin）和热场发射扫描电镜(Nova NanoSEM 450)。此平台的建设对国家实验室、学校乃至中南地区的光电子学、生物医学、物理学、材料学、化学等学科领域的基础研究起到重要的支撑和服务。

300 kV电子束球差校正透射电镜

高分辨透射电镜的分辨率一般可以达到达到2Å，经过多年的发展，通过提高加速电压来提高分辨率遇到了技术上的瓶颈。球差校正技术的诞生提供了突破1Å分辨率的途径，Titan就是在这个情况下应运而生，可达到0.78Å的分辨率。除常规功能外，此电镜可进行EELS，EDS的分析与元素分布成像。冷台、热台、力台和电台的原位分析的功能材料与器件研究。

扫描电镜/聚焦离子束电镜系统

 SEM/FIB双束系统主要用于在金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构。同时，配备纳米机械手之后，可以定点制备TEM样品，此仪器是探索决定物质表观特性微观本质的强有力工具。(www.xing528.com)

200 kV高分辨透射电子显微镜

 该透射电镜具有如下功能。形貌分析:获得非晶材料的质厚衬度像，多晶材料的衍射衬度像和单晶薄膜的相位衬度像(原子像)。结构分析：电子衍射，原子位错，孪晶类型，晶界结构等研究。成分分析：小到纳米尺度的微区或晶粒的成分分析。

热场发射扫描电镜

 以波长极短的电子束聚焦后在样品表面扫描，接收从样品表面激发出的二次电子信号成像。主要用于观察固体表面的形貌，也能与EBSD或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分分析。此电镜可对导电率小的材料分析，还可进行环境气氛下材料研究。