由于测量系统采用了共光路干涉原理，即两束相干光被同一表面反射，因此对于各种反射率的样品，测量系统都具有最佳对比的干涉图像。从理论上讲，测量系统可测量任意反射率的样品。
但是在测量系统中，随机噪声的幅值基本上为一固定值（最大平均光强的8%），在测量像玻璃这样低反射率的被测表面时，系统随机噪声对光强测量数据的影响很大。所以，系统不能测量低反射率的物体。
在光线射到表面和再反射回来的过程中，光波对各种不同材料的表面有一不同的微量透入深度，致使反射光波和入射光波之间产生一个相移，光波对被测面和参考面的透入深度不同 （玻璃反射镜的透入深度为零，抛光钢表面的透入深度约为0.018 µm），从而直接影响表面测量精度。
测量系统的共光路干涉体系使得由于两束光在被测表面上的透入深度相同，因此光波透入深度不影响表面形貌测量结果。
本章对测量系统的相位测量误差和形貌计算误差进行了理论分析和实验验证，分别应用半周期四帧相移算式、线性相移误差免疫四帧算式、线性相移误差及探测器二次非线性响应误差不敏感六帧算式对相位测量误差进行了减小和消除，验证了第三章中的相位提取算法的有效性。对测量系统进行了精确定标，给出了定标系数。其中线性移相误差及探测器二次非线性响应误差不敏感六帧算式具有对实验中所出现的误差源不敏感的特性，将Ra 重复测量精度提高了5倍以上。在达到同样精度的情况下，该算法只需6 帧相移图像，而半周期法需要9 帧相移图像。实验结果表明，测量系统的Ra 测量重复精度达到了0.3 nm。
根据精度分析及实验结果，得出结论如下：
（1）1/4 波片的相位延迟误差可以忽略不计。方位角误差引起的相位测量误差中的第一项与被测相位无关，可以在光路调整中与其他误差项相抵消；第二项是与被测相位有关的周期性误差，它的影响可以通过半周期法减小。(www.xing528.com)
（2）影响相位测量精度的主要原因是检偏器的转角误差，即移相误差，它也是被测相位的周期性误差。利用半周期法及对移相误差不敏感的相位提取算法，可以有效地减小和消除该项误差。
（3）对测量系统进行了精确定标，其定标系数为1.20，定标的误差在0.75%左右。
（4）表面形貌测量误差是各采样点高度测量误差点的累积。综合考虑各种误差因素，表面形貌的最大测量误差为0.59 nm。
（5）Normaski 棱镜的面形误差和角度误差对表面形貌测量结果的影响小于0.38 nm。
（6）光源不稳定的影响可以通过对干涉图像累加采集平均进行减小。
（7）测量系统测量区域Ra 值时，对离焦不敏感。
免责声明：以上内容源自网络，版权归原作者所有，如有侵犯您的原创版权请告知，我们将尽快删除相关内容。
