【摘要】：通过采用激光诱导荧光光谱技术可以获得它们的绝对浓度信息。其中，OH自由基等的绝对浓度可通过单光子吸收LIF测量，O原子等的绝对浓度则可通过双光子吸收LIF进行测量。本节将分为3部分，第一部分从6.4.1节到6.4.2节介绍LIF的基本原理和系统构建，第二部分6.4.3节介绍常见活性粒子的诊断及标定方案，第三部分6.4.4节介绍常见活性粒子的特性及调控。
非平衡等离子体会产生高浓度的活性粒子，这些活性粒子在材料表面改性、生物医学等应用中扮演着重要的角色。但这些活性粒子大多处于基态，它们不辐射光子，辐射光谱测量技术难以对其进行有效的直接诊断。通过采用激光诱导荧光（laser induced fluorescence，LIF）光谱技术可以获得它们的绝对浓度信息。
激光诱导荧光技术具有诸多突出的优点，例如它具有较高的灵敏度（探测下限可达到106个粒子/cm3）、良好的空间分辨能力（可达到微米量级）、迅速的时间响应（能达到纳秒量级）、荧光信号的选择性强、干扰较小（通过激光激发基态粒子、不涉及接触式仪器）、主动式检测（与被检测体系中电子密度、电子温度关系不大、仅与被测物种浓度有关）[43，44]。(www.xing528.com)
在等离子体射流中，OH、NO等自由基和O、N等原子都是非常重要的活性粒子，它们的绝对浓度均可通过LIF技术测量得到。其中，OH自由基等的绝对浓度可通过单光子吸收LIF测量，O原子等的绝对浓度则可通过双光子吸收LIF进行测量。本节将分为3部分，第一部分从6.4.1节到6.4.2节介绍LIF的基本原理和系统构建，第二部分6.4.3节介绍常见活性粒子的诊断及标定方案，第三部分6.4.4节介绍常见活性粒子的特性及调控。
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