【摘要】：在这种装置中，电容控制每个放电脉冲期间可传递给等离子体的总能量，而电阻限制充电电流。只要电容足够小并且电阻的电阻值不太大，放电频率就由施加电压的脉冲频率确定。图1.2.2电阻-电容阻挡放电示意图[90]图1.2.3典型的放电电流和电压波形施加电压：Va；针尖上的电压：Vneedle；总电流：Itot；位移电流：Ino[90]
控制放电电流以及控制在每个放电脉冲周期向等离子体输入能量的另一种方法是电阻-电容阻挡放电[90～91]。其放电回路如图1.2.2所示，等离子体由直流脉冲电源驱动。在这种装置中，电容控制每个放电脉冲期间可传递给等离子体的总能量，而电阻限制充电电流。只要电容足够小并且电阻的电阻值不太大，放电频率就由施加电压的脉冲频率确定。
典型的放电电流和电压波形如图1.2.3所示，其中，Va是施加的电压，Itot是总电流（有惰性气体：有等离子体），Ino是位移电流（无气体：无等离子体）。应当指出的是，无论打开还是关断等离子体，电压波形都保持不变。该图清楚地表明实际放电电流，即Itot和Ino之间的差，约为10mA的峰值。位移电流波形与典型的电阻-电容（resistance-capacitance，RC）充放电电路的波形相同。针尖上的电压Vneedle峰值约为6kV。根据放电的电流和电压波形，对于施加8kV、500ns的脉冲宽度和10kHz的脉冲频率电压，可以估算输入到等离子体中的功率约为0.1 W。
图1.2.2 电阻-电容阻挡放电示意图[90](www.xing528.com)
图1.2.3 典型的放电电流和电压波形
施加电压：Va；针尖上的电压：Vneedle；总电流：Itot（有等离子体）；位移电流：Ino（无等离子体）[90]
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