对好氧微生物来说，氧通常是原位生物处理的限制因子。 可以通过强制手段将分子氧加入系统，或通过化学反应加入系统（如用过氧化氢）。
在选择氧供应系统时，应按下列标准评判:污染负荷的需氧量；自然有机沉积的需氧量；设计降解速度；每种方法供应的氧转移速率；氧源传输利用的难易；氧源的费用。
需氧速率和污染物的位置决定了选择什么样的供氧系统，供氧可以有以下几种方式:井孔通气、含氧水的注入、过氧化氢的注入等。
（1）井孔通气
井孔通气是结构简单价格低廉的系统，可通过多孔气泡装置（pomus bubber device）将空气扩散到井孔中。 向井水中注气可使用金刚砂扩散器、多孔石、环带金属、碳化硅扩散器等。碳化硅扩散器注气可以使空气进入地下水的速率达到0.28 m3/min。 氧饱和的水扩散到亚表层。 氧供给到污染带的量与水流速率有关。
（2）含氧水的注入(www.xing528.com)
用泵将饱和含氧水打入污染的含水层是最常见的供氧方法。 每天供应氧的量与注入的速率和水中溶解氧浓度有关。
无论是井孔通气还是将含氧水泵入亚表层均有一些限制。 生物阻塞常常抑制气流进入井孔。 生物阻塞发生在井滤网处及其附近土壤。 解决办法是将注气器提出清洗和用化学品处理井。 生物阻塞频繁发生常常会限制通气技术的应用。
（3）过氧化氢的注入
过氧化氢在水中溶解度很高，并可以分解为水和氧。 土壤的酶促反应使过氧化氢分解，土壤中含有的天然有机化合物、铁、铜催化分解反应，高pH 值也可加速分解。 从干净砂的500 mg/L 到其他土壤的100 mg/L，土壤降解限制了过氧化氢的使用浓度。 原位修复最常使用的过氧化氢浓度是100 ～500 mg/L。
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