金属表面涂层工艺是机械产品制造工艺中的一个重要组成部分。如钢板上镀锌可以防腐和改善材料表面的外观及着漆功能，还可防止空气和水分对Fe的腐蚀，镀锌钢板中的元素分布及镀层厚度直接影响产品的质量。GD-MS由于具有快速溅射速率和可测元素动态范围宽的特点，近年来越来越多地被用于金属表面及其涂层的深度剖析。
王颖等［19］运用GD-MS研究了镀锌钢板的镀层状态，结果表明镀锌钢板的组成为纯锌层、互渗层和基板。同时分别研究了电镀锌板、热镀锌板过程中镀层随电镀时间的变化。结果表明，随着电镀时间的增加，锌铁互渗区域变大；而随着热镀时间的增加，锌铁互渗区域变薄。Su Yongxuan等［20］对μs-pulse-GD-TOF-MS用于深度剖析的放电条件进行了探索，研究了气体压力、放电电流和放电频率对弹坑的深度剖面及表面形貌的影响。分别对纯铁、纯铜和纯锌表面溅射得到了1．27nm／s、2．90nm／s和5．18nm／s的剥蚀率。在优化的实验参数下对Zn Fe薄膜（约10μm）和Fe Cu薄膜（约1μm）进行了深度剖析。初步结果表明，μs-pulse-GD-TOF-MS在表面深度剖析方面具有广阔的应用前景。Spitsberg I．T．等［21］使用高分辨GD-MS对镍基高温合金基底上厚度为100μm的Pt Al涂层中的痕量元素含量及其纵深分布进行了深度剖析。同时讨论了溅射坑形貌、再沉积现象对深度剖析结果的影响。为了获得更精确的深度剖析结果，使用深度校正因子对溅射深度进行深度校正，利用测量深度分布的归一化进行了更为准确的定性和半定量分析。Karol等使用GD-MS检测技术对难熔金属材料钽板表面上痕量元素Mo、Nb、W、Fe、Co、Si、C、O的横向和纵向分布进行了深度剖析。分析结果表明，Mo元素在钽表面层的含量远高于在基体中的水平，O元素在钽表面层的质量分数分布较基体要低［22］。波兰Tele and Radio Research Institute的Konarski等分别运用SIMS、GD-MS技术对在不同真空退火温度下两种不锈钢金属表层进行了深度剖析，用于研究不同退火温度对样品表层元素偏析效应的影响。虽然SIMS、GD-MS的结果相接近，但对于同一样品，SIMS需要耗时30min，而GD-MS仅需3min［23］。(www.xing528.com)
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