当今的微制造由微机电系统（MEMS）技术演化来的，这种系统最早出现在20世纪80年代，目标是集成由电路组成的机电传感器和驱动器。通过硅微机械加工以及金属和氧化物沉积在硅基集成电路的加工技术，非常小尺度的机电传感器和驱动器可以在低消耗、高容量的条件下加工而成[34，35]。另外，这些MEMS器件都比较强健的而且比起大的传统器件要可靠得多。它们已经应用在电动气囊中，并且现在在手机、计算机、照相机、高尔夫球俱乐部、滑冰以及视频游戏中可见。MEMS的压力传感器在近十年已经被广泛应用，首先在电动车、飞机、过程控制设备以及生物传感器中出现。
在很多应用中，高度集成的集成电路的益处是显而易见的。MEMS加速计和压力传感器的成功，伴随着向小尺度、低功耗、高容量产品的驱动，导致有关微系统加工应用技术以及技术性应用的爆发。光发射器、探测器以及继电器的扩大导致微光机电系统（MOEMS）的形成[36]。其中的例子包括电视和投影仪中微镜器件以及固态激光器件，这促进了电信和数据信息工业的发展[37]。生物功能的应用产生了生物微机电系统（Bio-MEMS）器件[38]。及时诊断的芯片器件是可使用生物微机电系统产品的一种[39，40]，尽管很多应用正在被研发，包括可植入传感器（葡萄糖）[41]以及经皮肤运输药物的微针形器件[42]。最后，包括伴随热和压电驱动器的流体流动，许多喷墨打印头进入微系统器件的分类中，当分析者讲述MEMS工业数据时，喷墨打印机一直被采用[43]。(www.xing528.com)
许多包含在MOEMS中的光学器件没有机械功能，一般更恰当地分类为电光（EO）器件。每当分类的时候，其他上述提到的器件都有共同的问题。这说明在某个时间点，严格意义上用MEMS是非常困难的，因为它已经被扩大并延伸为微制造。在本章中，缩略语“MEMS”并不是严格的使用，而是泛指小型设备以及必须由微制造加工的系统。
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