【摘要】：材料科学中出现的“纳米区域”、“纳米结构”、“纳米材料”的分析,使表面和微区分析成为分析化学发展快速的领域之一。表面和微区分析涉及厚度小于1个选择层到几个纳米厚的物质表面层的表征,目前表面和微区分析的手段基本上都是物理分析方法。用于表面分析的方法按照所用的试剂分为：光子探针、电子探针、离子探针和电场探针。
高新技术特别是半导体、微电子工业及材料科学、生命科学、纳米技术的发展,向分析化学提出了诸如对非整直空间（如大规模集成电路组件）、无法采样的小空间（如活体组织、细胞及毛细血管）中的物质进行表征和测量的问题。材料科学中出现的“纳米区域”、“纳米结构”、“纳米材料”的分析,使表面和微区分析成为分析化学发展快速的领域之一。尤其对催化剂、半导体和微电子器件、金属、陶瓷、玻璃、薄膜结构、聚合物和集成电路的开发和生产最为重要。
表面和微区分析涉及厚度小于1个选择层到几个纳米厚的物质表面层的表征,目前表面和微区分析的手段基本上都是物理分析方法。用于表面分析的方法按照所用的试剂分为：光子探针、电子探针、离子探针和电场探针。目前已经发展了30多种方法用于表面和界面分析,其中主要的有广泛用在工业中的X 射线光电能谱法（XPS）,俄歇电子能谱法（AES）,次级离子质谱法（SIMS）,用于组分的表面分析的卢瑟福背散射谱法（RBS）,用于表征表面形貌的扫描电子显微镜技术（SEM）,原子力显微技术（AFM）,以及用于分子表面和界面分析的界面表征的分析电子显微镜技术（AEM）,以及用于分子表面和界面分析的红外（IR）和拉曼光谱。上述方法能提供表面和界面物质的形貌、元素组成、原子之间的化学键、结构（几何的和电子的）信息,对研究基本化学过程（金属腐蚀、催化、表面吸附、化学吸附、反应性、氧化性、钝化、成分鉴定）起着重要作用。因此,在材料科学、催化剂、生物学、物理学及理论化学研究中占有重要位置。(www.xing528.com)
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