1.结区宽度
p-n结区的宽度d为
式中ε为介质的介电常数,V为外加偏压,ρx为x型(x=n或p,n指电子,p指空穴)半导体的电阻率,μx为室温下多数载流子的漂移率。取μn=1450cm·V-1·s-1,μp=450cm·V-1·s-1,ε=12,电阻率用Ω·cm表示,电压用V表示,则dn和dp为
dn=5.3×10-5(ρnV)1/2(cm)
dp=3.2×10-5(ρnV)1/2(cm)
由此可见,半导体探测器的结区宽度正比于(ρV)1/2。用半导体探测器测量带电粒子的能量时,必须使结区宽度大于入射粒子在半导体材料中的射程,以保证粒子的能量全部损耗在耗尽层内,适当选取材料的电阻率及调整探测器所加偏压,可控制结区宽度。典型的p-n结Si半导体探测器的ρ=104Ω·cm,V=200V,由此算得d≈0.045cm(n型基质)或0.075cm(p型基质),这样的厚度可以满足低能β粒子、质子和中低能α粒子的探测。
2.结电容
半导体探测器实际上相当于一个介电常数为ε的平行板固体电离室,因此具有一定的电容。探测器所加电压变化时,结区宽度也随之变化,所以,半导体探测器的结电容也随之变化。将结电容视为平行板电容器,其电容为(www.xing528.com)
式中S为灵敏区面积(cm2)。将dn=5.3×10-5(ρnV)1/2(cm)和dp=3.2×10-5(ρnV)1/2(cm)代入可得n型Si基体半导体探测器的结电容为
Cd=2.1×104(ρV)-1/2S(pF)
p型Si基体半导体探测器的结电容为
Cd=3.5×104(ρV)-1/2S(pF)
3.反向电流
半导体探测器的反向电流是影响探测器能量分辨本领的重要因素。反向电流的来源主要有:①热激发在结区内部产生的体电流,其值为μA级。体电流与(ρV)1/2成正比,降温可降低本征载流子的浓度,因而可有效地降低体电流。②少数载流予的扩散电流。少数载流子指p区的电子和n区的空穴,它们在电场作用下向结区扩散形成扩散电流。由于少数载流子浓度极低,所以扩散电流非常小。③表面漏电流和局部漏电流。这些漏电流与半导体探测器的制造工艺有关,表面的离子污染、真空泵油的污染、指纹、水汽分子等都可以导致表面漏电;p-n结的不整齐,可造成局部漏电流。
一般来说,当外加反向偏压为100V时,一个好的半导体探测器的反向电流不超过1μA。
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