1981年,宾尼格和罗赫尔利用隧道效应研制成功扫描隧穿显微镜(STM),它可以很精确地观测材料的表面结构。
STM的特点是不用光源也不用透镜。它的显微部分的核心是一枚细而尖的金属(如钨)探针,针尖的大小接近原子的尺寸。若在针尖与被测表面之间加一微小的直流电压,当两者间距很接近(零点几纳米)时,由于隧道效应而产生隧道电流。由量子理论知,这一电流随针尖与表面间距的增大而呈指数下降。在典型情况下,间距每增加0.1nm,电流下降一个数量级,由此可见STM的精度是非常高的。图10—4为STM的示意图。
图10—4 STM示意图
使用STM观测样品的表面结构时,先将探针推向样品,在探针和样品间加上电压。当探针在样品表面扫描时,若样品表面有起伏,隧道电流将随之变化,若通过STM的反馈机构控制探针的运动,保持隧道电流不变,即探针与样品表面之间的实际距离保持不变,则探针的运动轨迹就是样品表面的形貌。将这些数据输送到计算机中,在计算机屏幕上便可显示出样品表面的三维图像。
如图10—5所示为STM的工作原理图。计算机显示的图像和实际尺寸相比可放大到1亿倍,因而用STM可观察微生物体DNA和病毒,它是研究表面科学、材料科学、生命科学和微电子学等的重要显微工具。(www.xing528.com)
图10—5 STM的工作原理计算机屏幕
STM的分辨率远远高于光学显微镜和电子显微镜。其纵向最小分辨间距已达0.005nm,横向最小分辨间距已达0.2nm,而光学显微镜的最小分辨间距仅为200~380nm,电子显微镜的最小分辨间距一般为几纳米,最高也只能达到零点几纳米。另外,STM与光学显微镜和电子显微镜不同,它不需要任何光学透镜和电子透镜,因此它不存在难以消除的像差、球差和色差。
但是,STM也有它的局限性。由于STM工作是依靠针尖与样品间的隧道电流,因此只能测导体和半导体的表面结构,对不导电的材料就无能为力了。另外,STM的图像不能提供样品的化学成分,必须借助其他分析手段才能获得。
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