法国大革命以后，法国的全科型大学受到了排斥；专业大学和专业高等学校成为法国高等教育的主体。这对于欧洲其他国家的高等教育产生了很大的影响，专业高校和综合的大学模式成为高教领域的两大对立力量。
早在法国大革命之前，在德意志区域就存在非常多的专业学校，这些专业学校没有类似大学的特许状，但也是由君主（国王或者侯爵）所创立，在某个专业上进行教学。以柏林为例，柏林大学1809/10年才成立，而在此之前，柏林已经拥有了各种专业学校：骑士学院（1765）、军校（1701）、医学院（1724）、兽医学院（1790）、艺术学院（1694）、工程学院（1776）、林业学院（1770）、矿业学院（1770）、商业学院（1791）、建筑学院（1799）。这些学院的学生大都以学习专门的知识或者技能为目标，部分学科同大学学科类似，甚至与大学争夺学科的话语权。[14]
在18世纪，德意志区域矿业发达，因此矿业学院和工程学院非常受学生的欢迎，不仅仅是平民子女，很多贵族子女也去此类专业学院就读。亚历山大—冯—洪堡除了在奥得河畔法兰克福和哥廷根就读以外，先后在汉堡商业学院和弗伦贝格矿业学院（Bergakademie Freiberg，1765）就读。类似弗伦贝格矿业学院的还有舍姆尼茨矿业学院（Schemnitz，1770）和克劳斯塔尔矿业学院（Clausthal，1775）。
在19世纪，德意志区域开始了工业革命，工业学院（Technische Hochschule）作为法国工程师学院的一种变体，开始在工业教育和工程方面确立自己的地位。1815年，第一所工业学院在维也纳成立；1855年之后更多的工业学院开始登上高等教育的舞台，到1890年，共新建工业学院13所，占19世纪新建高度教育机构（38所）的三分之一。在同一时代，除了工业学院之外，还创建了农业学院、兽医学院、经济学院各两所，艺术和音乐学院5所。
虽然工业学院发展很快，在工程和机械方面有着自己的学科群，但是一直没有得到类似大学的地位，其毕业生也没有学衔，只有毕业证书。经过德国工程师协会的努力，在德国威廉二世皇帝的支持下，柏林工业学院[15]在1899年百年校庆时，获得了博士授予权，即工程博士（Dr.Ing.）授予权，从而从法律上取得了与大学博士学位同等的权利。20世纪60年代，工业学院（TH）开始改名为工业大学（TU），仅有少数高校保留了工业学院的名称，如著名的亚琛工院（RWTH Aachen），但是从国家认定层面讲，它是一所大学。
从1900年到1945年间，德意志区域新建了62所高等学校，大部分是专业学院，其中5所农业工业矿业学院、11所艺术学院、4所经济学院、2所神学院，2所大学，其他的都是师范学院（PaedagogischeHochschule）。[16]自1922年波恩师范学院起到1936年止，德意志区域创建了如此多的师范学院，一方面是由于教育的扩张，对于中小学师资的极大需求；另一方面是由于魏玛共和国时期执政的社会民主党人非常重视中下层民众子女的教育问题，把培养教师的任务从大学的哲学系转到单独设立的师范学院学院中去，这其中作为普鲁士教育部部长的贝克（Becker）做出了重要的贡献。在20世纪60年代，师范学院也蓬勃发展，但是许多师范学院以教育学院或者教育系的名义融入了当地的大学。2014年，德国仅有6所师范学院尚存。[17](www.xing528.com)
二战后，联邦德国经济飞速发展，民众的教育需求急剧高涨，而当时的高等教育系统接纳学生数量有限。因此，1968年，联邦德国各个联邦州达成共识，在大学和工业学院之外，为学生提供高等教育的机会，专业学校和工程师学校转型为高等教育，成立应用科技大学（Fachhochschule），为学生提供工程、管理和社会服务方面的教育机会，重视实践教学，颁发等同于大学的工科硕士Diplom（FH）学位。虽然在实践中，应用科技大学的毕业生会受到来自公务部门的不公平对待，但是在企业或者市场化比较充分的行业却因其贴近实践而备受追捧。
博洛尼亚尼亚进程以来，应用科技大学对于学制改革最为热心，按照博洛尼亚进程中学士—硕士二分法，大部分应用科技大学顺利地完成了这一转变，从而由单一的受歧视的带有FH标识的学衔过渡到同大学完全等同的两个层级的学衔。在2013/14年冬季学期，德国学生总注册人数为2312259人，其中大学1491541人，艺术学校24911人，应用科技大学762860，管理类应用科技大学32947人。[18]后两者占总注册人数的三分之一，由此可见，应用科技大学占据了德国高等教育的三分之一份额。就专业来看，就读于应用科技大学的学生以经济、法律和社会保障方向最多，占40%；其次为工程学，占35%；之后是自然科学、医药卫生等学科方向。
1971年，德国第一家总合高校在卡塞尔成立（卡塞尔总合高校Gesamthochschule Kassel），它融合了当地的造型艺术学校、师范学院、工程师学校、高级经济学校。[19]这所学校试图在一个系统里为大学学生和应用科技大学学生提供学习的机会。这类高校在北威州最多，先后成立了5所。除了这类新建的总合高校外，巴伐利亚州某些大学也提供应用科技大学方式的学习机会，只不过是融入大学课程之中的。1980年后这类高校改名为总合大学（Universitaet-GH），在一所大学里，按照学生自己的学习兴趣，可以取得不同类型的毕业证书。2002年，卡塞尔总合大学改称为大学，一年后北威州所有总合大学完全改名为大学，把应用科技大学方向的学习打包到两家应用科技大学中。[20]
在总合高校的框架下，北威州1974年成立了哈根远程总合高校，2003年改称哈根远程大学（Fernuni Hagen），目前是德国唯一一所远程高等教育机构，具备博士学位授予权。它在德国共有45个教学点，2014年注册学员88168人，共有职工1824人，其中教授79人。授课专业齐全，只是没有医学专业；学生学习以靠材料自学为主，但是也有单元式的课程讲授；有10%左右的学生为全日制学生，另外有40%左右的定时制学生，他们都需要参加各种讨论班来学习。[21]
1974年，在双元制职业教育的框架下，由巴符州奔驰公司、博世公司和劳伦次电器公司三家倡议的新型高校形式在斯图加特诞生。两年后巴符州称之为职业学院（Berufsakademie）；1975年，其毕业文凭获得联邦德国各州文教部长联席会议对其高等教育程度的认可；1993年巴符州认定职业学院文凭同应用科技大学的文凭等值。1997年，这一文凭获得欧盟的承认。[22]截止到2008年，共有10个州49所职业学院。随着巴符州职业学院的扩张，2009年，按照美国加州大学系统的分地办学的模式，巴符州职业学院改制为巴符州双元高校（Die DualeHochschule Baden-Württemberg），拥有9个校区、650名教授和34000名学生，拥有超过10000家合作企业，一跃成为巴符州规模最大的高校。[23]目前有2个联邦州的职业学院是公立的，有5个联邦州是国家承认的非公立学校，有些联邦州的职业学院融入了当地应用科技大学的课程。这一类型的高校，其特点在于实践和教学紧密结合，研究项目和教学内容大都是来自于实践；学生既是企业学徒又是学校学习者；毕业后基本上留用企业。
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