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空间频谱分析系统-信息光学理论与应用

时间:2023-10-04 理论教育 版权反馈
【摘要】:它是通过分析物图像的空间频谱成分来对物图像进行检测、控制的一种工具,由频谱分析器和微型计算机组成。频谱分析器置于图6.1.3所示系统的频谱面上,接收功率谱的光强分布。图6.1.5楔-环探测器结构自从出现楔-环探测器后,频谱分析技术获得了很大发展。

空间频谱分析系统-信息光学理论与应用

为了加深对空间滤波的理解,在介绍空间频率滤波系统之前,有必要先讨论一下空间频谱分析系统。前面已指出,物光场中包含有结构信息,这种结构信息由其空间频谱的分布来决定,故通过对物图像的频谱分析,可知道其结构特征。最简单的空间频谱分析系统如图6.1.3所示。物体置于透镜L的前焦面上,当用相干平行光垂直照明时,在透镜的后焦面上能得到其准确的傅里叶频谱。此外,在2.6节曾指出,当用点光源照明物图像时,在点源的像平面上也将获得物图像的频谱,其频谱中心(零频位置)即在点源的像点处。但为了分析方便,仍以图6.1.3光路为代表进行讨论。图中P1平面代表物平面,令其光场分布为f(x1,y1),P2平面代表物图像f(x1,y1)的频谱面,其频谱和功率谱分别为

图6.1.3 频谱分析系统光路图

式中,fx,fy代表物结构信息的空间频率值,它与P2平面上的空间坐标具有下列关系:

在P2平面上的功率谱分布具有下列特征:

(1)频率特性:由式(6.1.2)知,中心的空间频率为零,由中心点向外其空间频率值越来越高,P2面上任一点的空间频率值与该点到中心点的距离成正比,其方向由中心点通过该点的矢径给出。若沿给定方向上出现高的空间频率值,则表明在物图像中,相应于此方向上存在某个较小尺寸的结构;若沿给定方向上出现低的空间频率值,则表明在物图像中,相应于此方向上存在一个较大尺寸的结构。

(2)方向特性:若物图像中存在线状构造〔如图6.1.4(a)所示〕,则其功率谱是沿着与此线状构造正交的直线方向ρ分布〔如图6.1.4(b)所示〕的,且物图像中的线状构造越密集,在P2面上沿ρ方向的空间频谱分布就延伸越远;反之亦然。

图6.1.4 线性构造(a)和频谱的方向特征(b)

(3)对称特性:由于光学图像通常是用实函数表示的,其频谱函数具有厄米特特性,即F(fx,fy)=F*(-fx,-fy),故有

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即在频谱面P2上的功率谱呈中心对称分布,亦即同一频率值必然在P2平面上相对于中心对称地分布着性质相同的两个亮点。这样,只需要在通过中心的半个平面上探测功率谱的分布规律,就可以知道物图像中结构特征的全貌。

【例1】若物图像的透过率函数中没有位相变化,试证明其功率谱函数图样中必有一个对称中心。

【解】设物图像的透过率函数为f(x1,y1),因其没有位相变化,故必为实函数,遂有

F(fx,fy)=F*(-fx,-fy) (共轭变换定理)

故得

可见,在这种情况下,无论物图像的形状如何,上式均成立,得证。

根据上面介绍的原理,人们研制了一种频谱分析器,又称为衍射图像采样器。它是通过分析物图像的空间频谱成分来对物图像进行检测、控制的一种工具,由频谱分析器和微型计算机组成。频谱分析器置于图6.1.3所示系统的频谱面上,接收功率谱的光强分布。实际上它是一种固体光电探测器件,其结构是由半圆中32个直径不同的环状PN结硅光二极管元件和另一半圆中呈辐射状分布的32个楔形PN结硅光二极管元件组成,故又称为楔-环探测器(Wedge-Ring Detector),如图6.1.5所示。据此可测出整个频谱面上各处的光强分布并输入到计算机中,其中的高速型分析器在每个元件后分别放大,每秒可以取50个信号,故可做运动物体的分析。

图6.1.5 楔-环探测器结构

自从出现楔-环探测器后,频谱分析技术获得了很大发展。最初用于云层覆盖图片和X光片分析,后来发展到表面光洁度的检测和粒子、细胞的识别。特别是用来对悬浮微粒、粉尘等细小物体做尺寸分析。由于粒子尺寸越小时,其频谱扩展得越宽,衍射图样的几何尺寸越大,测量频谱就容易多了;再加上傅里叶变换具有平移不变特性(功率谱与输入信号的位移无关),故粒子在测量过程中移动时,不会影响衍射图样的位置和强度分布,这为探测提供了很大方便。这表明频谱分析已从纯透明平面物体发展到三维物体的检测,并已开始应用于工业中,例如,针尖缺陷检查、掩模线宽测量、织物疵病以及纸张印刷质量的检查等。

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