由于衍射受限成像系统的相干传递函数HC(fx,fy)与光瞳函数P(x,y)之间有下列关系:
HC(fx,fy)=P(λdifx,λdify)
而且光瞳函数只取两个实数值,即0和1,故有
HC(fx,fy)=H*C(fx,fy)
|HC(fx,fy)|2=HC(fx,fy)
将上列各式代入式(3.4.14)中,有
令x=λdiξ,y=λdiη,则上式可改写成
显然,光学传递函数也是光瞳函数的归一化自相关。上式还给OTF一个重要的几何解释,由此便可导出OTF的计算公式。由于P(x,y)只取0和1两个实数值,故式(3.4.23b)中的分母代表光瞳的总面积σ0;而分子中的P(x+λdifx,y+λdify)只是将光瞳函数P(x,y)分别沿x轴方向和y轴方向移动-λdifx和-λdify,光瞳并未改变,并且只有在它们都不为0的区域内,被积函数才不为0且取值为1,故分子表示两个错开的光瞳相互重叠区的面积σ(fx,fy),如图3.4.1中的阴影部分所示。因此,可以对OTF做出这样的几何解释:
上述几何解释又再次表明,衍射受限非相干成像系统的OTF恒为非负的实数,因此它只改变各频谱分量的对比度,而不产生相移。
根据公式(3.4.24),可以将计算衍射受限非相干成像系统的OTF的步骤归纳如下:
(1)确定系统出瞳的形状和大小,计算出瞳总面积σ0。
(2)计算出瞳面至像平面之间的距离di。
(3)任意给定一组(fx,fy)值,算出(λdifx,λdify)值;将出瞳平移,使其中心落在(-λdifx,-λdify)处,计算移动前后两出瞳的重叠面积。
(4)相继再给定一组(fx,fy)值,算出重叠面积。依此类推,就可算出σ(fx,fy)。
(5)按照公式(3.4.24)计算σ(fx,fy)/σ0,最终得到HO(fx,fy)。
当出瞳的几何形状比较简单、规则时,可以求出HO(fx,fy)的完整表达式。对于形状复杂的出瞳,可以用计算机或面积仪求出HO(fx,fy)在一系列分立频率上的值。
根据上述计算步骤并结合图3.4.1,还可以确定衍射受限非相干成像系统的截止频率(f0x,f0y)。下面结合两个计算实例予以说明。为了与相干照明的情况相比较,仍分析方孔和圆孔光瞳。
图3.4.1 衍射受限系统的OTF计算
【例1】设衍射受限非相干成像系统的出瞳是边长为l的正方形,求其OTF。
【解】如图3.4.2所示,出瞳总面积σ0=l2。重叠面积由图3.4.2(b)中的阴影部分可以求得
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图3.4.2 出瞳为正方形的系统的OTF计算
所以
显然,只有当λdi|fx|<l且λdi|fy|<l时,HO(fx,fy)才有不为零的值,由此求得该系统的截止频率为
将相干系统的截止频率关系式(3.3.15)代入式(3.4.26)中,并由三角形函数定义式(1.1.10),得
其图像如图3.4.2(c)所示。
【例2】衍射受限非相干成像系统的出瞳是直径为D(=2r)的圆,求该系统的OTF。
【解】在此情况下,OTF显然是圆对称的,故只需沿fx轴正向计算HO(fx,fy)就足够了。如图3.4.3(b)所示,重叠面积(图中阴影部分)被分成面积相等的两个弓形。由几何学公式可知
于是容易求得光瞳重叠面积为
σ(fx,0)=r2(2θ-2sinθcosθ)
而出瞳总面积为σ0=πr2。最后可求得
或写成
由圆对称性可得系统的截止频率在一切方向均为
该传递函数的图像如图3.4.3(c)所示。
图3.4.3 出瞳为圆形的系统的OTF计算
将式(3.4.27)、(3.4.31)与式(3.3.15)、(3.3.18)比较可以看出:非相干成像系统的截止频率是相干成像系统的两倍。但从它们各自的图像上看到,在截止频率以内,OTF的值不像CTF那样恒为1,而是随空间频率的增大逐渐减小。
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