MEMS汽车传感器原理与检修，集成传感器在汽车运用

一般传感器的输出信号（电流或电压）很弱，若将它连接到外部电路，则寄生电容、电阻等的影响会彻底掩盖有用的信号，因此采用灵敏元件外接处理电路的方法已不可能得到质量很高的传感器，只有把两者集成在一个芯片上，才能具有最好的性能，系统单片集成化的MEMS便应运而生。MESM是从半导体集成电路技术发展而来的，但MEMS器件芯片一般都有活动部件，这是MEMS器件与集成电路芯片的主要不同。

MEMS指的是微机电系统，也即指微小的机械电子系统，因为此系统既包含机械部件又包含电子部件，因此称这类微小的机械电子系统为微机电系统。微机械电子系统是微电子技术的拓宽和延伸，它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与机械融为一体的系统。这些传感器的体积和能耗小，可实现许多全新的功能，便于大批量和高精度生产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵列，这些特点使得它们非常适合于汽车方面的应用。

集成化是指利用IC制造技术和精细加工技术直接利用半导体特性材料制成单片集成电路传感器，或是将分立的小型传感器制作在硅片上，例如集成化温度、压力传感器及霍尔电路等。(www.xing528.com)

集成传感器在汽车上的运用。例如，集成加速传感器。在ESP制动控制系统，将测量横摆角速度和侧向加速度的传感器集成于电子控制单元中，这两个加速度传感器彼此之间互成直角，这样液压模块虽然仍须水平安装，但却可以根据要求围绕垂直轴进行定位。因此，基于已知的安装位置和两个加速度传感器发出的信号，车辆的侧向加速度便能够精确计算出来。

又如，惯性集成传感器。将集成后的惯性传感器融入安全气囊控制单元，不仅将传感器置于靠近车辆重心的地方，车辆重心处实为安放车辆碰撞传感器和惯性传感器的最佳位置。而且将惯性传感器和碰撞传感器融入一个模块当中，可以为增加侦测覆盖范围提供替代性方案，让惯性传感器能提高侦测侧撞和翻滚危险的功能，提升了把单个传感器融入集成式多传感器组件当中的潜力。并且，独立惯性传感模块所需的许多部件可以被省去，并不会影响电子稳定性控制系统的设计或性能，为汽车的安全性提供了更为可靠的保证。