空气洁净度是以空气中所含有的微粒浓度来衡量的。以单位体积内存在的微粒个数表示洁净等级，级别越高，数字越小。
1963年，美国提出了FED-STD-209洁净实验室标准。这项标准按每立方英尺[1]空气中大于等于0.5μm的尘粒最多允许的数量，将洁净实验室分成若干个等级，通常称为百级、千级、万级、十万级等。如100级为每立方英尺空气中允许大于等于0.5μm的尘粒的最多数量为100粒。长期以来世界上许多国家对洁净实验室都是按这个方法分级的，中国过去的洁净实验室标准也是按这个方法分级的，仅仅是把量纲改为国际单位制而推算出各洁净等级的允许尘粒数，如100级为每立方米空气中允许大于等于0.5μm的尘粒的最多数量为3520粒。直至1992年在美国联邦标准FS209E中才出现采用国际单位制的洁净级别标准，即每1立方米体积中各个不同粒径的微粒的含量。日本标准JIS B 9920采用的是国际单位制，并同样以0.5μm为主要代表粒径。美国联邦标准FS 209E的空气洁净度级别如表5-1所示。
表5-1 FS 209E的空气洁净度级别
续表
从表5-1中也可以很明确地看到国际单位与英制单位的对应关系。应当说明的是现行的洁净度等级不一定是10的指数幂，也可以定义任意级如50级、200级、3000级……这可使检测时的量化更为细致。
我国的洁净度等级制订始于20世纪70年代，前期主要参考美国联邦标准FS 209。1999年，国际标准化组织ISO颁布了一项国际标准《ISO 14644-1洁净室与受控洁净环境，第一部分:空气洁净度分级》。该标准采用了新的分级。在我国的《洁净厂房设计规范》的修订过程中，涉及洁净技术的各有关单位、科技人员和专家们都强烈希望“规范应与国际接轨”，为此《洁净厂房设计规范》的第3章“空气洁净度等级”等效采用了上述ISO标准的相关规定。规定如下:(www.xing528.com)
空气中悬浮粒子洁净度以等级序数N命名。每一个被考虑的粒径D的最大允许粒子浓度按下式确定:
式中:Cn为被考虑粒径的空气悬浮粒子最大允许浓度(pc/m3·空气)，Cn是以四舍五入至相近的整数，通常有效位数不超过三位数;N为ISO等级级别，数字不超过9，ISO等级级别N之间的中间数可以以0.1为最小允许增量进行规定;D为被考虑的粒径(μm);0.1为常数，其量纲为μm。
ISO洁净度等级以及与传统分级的对应关系见表5-2。表中列出的空气中悬浮粒子洁净度等级及其相应的大于等于被考虑的粒径的粒子浓度，在有争议的情形下，从公式(5-1)得出的浓度Cn可作为标准值。
表5-2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
注:由于涉及测量过程的不确定性，故要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。
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