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系统误差分析及优化方法

时间:2023-07-02 理论教育 版权反馈
【摘要】:信噪比光电流检测误差取决于光电流计及光信号检测误差,本项目采用进口光电倍增管检测光信号,选用高精度电流计,满足信噪比测试要求。紫外光学系统焦距测量仪测试误差取决于图像采集像素,本技术方案采用焦距为1 000mm的平行光管及日本佳能显微读数系统,达到百万级像素,其产生的误差小于焦距允许误差(1%),满足测试要求。图8.38紫外成像光电系统性能测试装置安装布局图

系统误差分析及优化方法

紫外器件综合性能测试仪产生的误差包括分辨力靶板加工误差、信噪比光电流检测误差、极限探测能力误差。通过分子读数显微镜实际测量,分辨率靶板加工误差为0.03%,小于行业允许误差(0.05%),满足技术要求。信噪比光电流检测误差取决于光电流计及光信号检测误差,本项目采用进口光电倍增管检测光信号,选用高精度电流计,满足信噪比测试要求。极限能力误差取决于紫外像增强器的响应,本项目选用进口紫外像增强器作为探测器,国外紫外像增强器响应高于国内同类产品1个数量级,因此满足测试误差要求。

紫外光学系统焦距测量仪测试误差取决于图像采集像素,本技术方案采用焦距为1 000mm的平行光管及日本佳能显微读数系统,达到百万级像素,其产生的误差(0.01%)小于焦距允许误差(1%),满足测试要求。

紫外光学系统透射比测试仪测试误差取决于紫外信号探测器的误差,测试仪探测器采用日本滨松公司生产的S2281-01紫外增强硅光电池作为光探测器件,其光谱响应范围为190~1 000 nm,灵敏度高达0.36 A/W,暗电流仅为300 pA,信号探测稳定性优于1.5%,可以满足紫外光学系统透射比测试需求。(www.xing528.com)

紫外成像光电系统性能测试装置安装布局如图8.38所示。其中光学平台为2 400mm×1 200mm,控制柜为1 000mm×800mm,实验室预留空间为3 400mm×1 200mm,或者为2 400mm×2 000mm,占地面积为5m2。光学平台四周预留测试人员的工作空间。

图8.38 紫外成像光电系统性能测试装置安装布局图

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