1.设备功能用途
分辨力是表征成像器件成像质量的一个重要参数,本测试仪器用于微光像增强器单管和整管的分辨力测试。
2.设备组成及工作流程
超二代分辨力测试仪由均匀光源、衰减滤光片组、分辨力靶、靶标投影光学系统、调节机械结构、像增强器专用夹具、像增强器专用高压电源、单目显微镜系统等组成,图5.29为超二代分辨力测试仪的原理框图。其工作原理为,在符合要求的照度的均匀光条件下,将符合USAF1951标准的分辨力测试靶板置于靶标投影光学系统的物方焦平面上,通过光学系统将分辨力测试靶投影在微光像增强器的阴极面上,由观察者利用单目显微镜系统直接观察像增强器荧光屏的分辨力测试靶标图像,所能分辨的最小特征线对即为该微光像增强器的极限分辨力,整个测试过程需要一套可以灵活调节的机械结构控制,满足测试调节和电气接口要求。
图5.29 超二代分辨力测试仪原理框图
3.设备主要组成部件
设备主要组成部件如表5.11所示。
表5.11 超二代分辨力测试仪主要组成部件表
续表
4.主要技术指标
①测试对象:1XZ18/18WHS系列超二代微光像增强器单管和整管。
②测试方式:目视判断。
③观察显微系统:单目、放大率50倍、分辨率不小于400 lp/mm;物镜NEWPORT,M-5X,0.10;目镜LiNOS10×。
④投影系统分辨率不小于400 lp/mm:
投影物镜MELLESGRIOT,160/0.17,10/0.25。(www.xing528.com)
ND0.5、ND1、ND2、ND3中性密度衰减滤光片各一片,根据照度需要插入其中一片;乳白玻璃一片。
⑤卤钨灯:6 V,10W,德国OSRAM,系列号64 223。
⑥精密稳压直流电源:数量2台,0～10 VDC连续可调,最大电流不小于3 A,电压分辨率为0.01 V,电流分辨率1mA。
⑦专用软启动高压电源:阴极高压-1 000～0 V可调,稳定度±5‰;MCP高压0～2 000 V可调,稳定度±5‰;阳极高压0～7 000 V可调,稳定度±5‰;MCP输出接地,各路高压输出应有输出短路自保护功能,各路高压调节具备软启动功能,总的由一个单圈高精度电位器控制。高压显示要求:三路高压显示精度1 V,显示单位V,显示阳极电压绝对值,显示MCP输入电压绝对值,显示阴极电压相对值(阴极电压悬浮在MCP输入上)。4个LEMO专用插座设置在专用软启动高压电源箱的前面板上。
⑧靶标:USAF1951标准,Ф34,0～7组,黑底亮线,线条长度与宽度与引进设备靶标一致。
⑨导轨、二维及三维调节装置:品牌为NEWPORT,调节精度优于0.005mm。
其中,单目显微镜前后移动对焦平移台调节范围不小于50mm,靶标投影系统前后移动对焦平移台调节范围不小于50mm。
⑩光学系统按引进设备原型制造,各光学主要部件(显微物镜、显微目镜、投影镜头、导轨、平移台等)采用引进设备品牌及型号。
⑪要求提供显微目镜及物镜实际的放大率、透过率、分辨率测试报告;投影物镜实际的放大率、透过率、分辨率测试报告。
⑫与现有引进设备实测像增强器分辨力值进行对比,差异范围不能超过半组。
5.超二代微光像增强器分辨力测试仪设计
超二代像增强器分辨力测试仪设计如图5.30所示,超二代像增强器分辨力测试仪如图5.31所示,像增强器分辨力的数字化测试仪如图5.32所示。
图5.30 超二代像增强器分辨力测试仪设计
图5.31 超二代像增强器分辨力测试仪
图5.32 像增强器分辨力的数字化测试仪
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