【摘要】：1.系统的设计要求大面积MCP清刷测试系统的设计要求如下:①该清刷测试设备可实现对非标大面积MCP按设定的清刷电流和清刷时间进行电子清刷;②要求4个工位,其中3个为清刷工位,另一个为清刷兼具有测试功能的工位;③清刷与测试工位可实现快速转换;④可以实现对大面积MCP电阻、增益及均匀性的参数测试;⑤可实现工控机程控整个系统的自动化操作。
大面积MCP电子清刷测试系统主要用于对使用在X射线探测器中的大面积MCP进行电子清刷以及相关参数测试。该MCP对电子清刷的要求较高,所以对系统的功能要求较多。同时考虑到实际生产需求,对该系统的清刷测试效率以及自动化操作控制有一定的要求。
1.系统的设计要求
大面积MCP清刷测试系统的设计要求如下:
①该清刷测试设备可实现对非标大面积(100mm×50mm)MCP按设定的清刷电流和清刷时间进行电子清刷;
②要求4个工位,其中3个为清刷工位,另一个为清刷兼具有测试功能的工位;
③清刷与测试工位可实现快速转换;
④可以实现对大面积MCP电阻、增益及均匀性的参数测试;
⑤可实现工控机程控整个系统的自动化操作(手动操作功能预留)。
2.系统的性能指标(www.xing528.com)
①系统从大气开始抽气,45min可达到工作真空度5×10-4 Pa;
②空载情况下,系统的极限真空度可达5×10-5 Pa;
③系统漏率小于5×10-8 Pa·l/s;
④电子清刷电流可实现0～30μA的自由调节;
⑤输出电流测试精度为1×10-9 A;
⑥热电子面发射源输出电流密度为0～10μA/m2;
⑦增益测试误差不超过±8%;
⑧电阻测试误差不超过±5%。
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