【摘要】：真空漏率是指相对负压封闭空间进入气体的速率,是衡量一个真空系统维持高真空能力的重要指标。大面积MCP电子清刷测试系统对真空度的要求很高,性能指标明确要求漏率不高于5.0×10-8 Pa·l/s,因此需要对系统的漏率进行测试实验与计算。式为真空系统允许最大漏率的计算公式。表1.7为真空泵关闭后真空系统真空度随时间变化表。表1.8不同时段系统漏率数值表格根据表1.8可知,8组漏率值均小于系统允许的最大漏率。
真空漏率是指相对负压封闭空间进入气体的速率,是衡量一个真空系统维持高真空能力的重要指标。大面积MCP电子清刷测试系统对真空度的要求很高,性能指标明确要求漏率不高于5.0×10-8 Pa·l/s,因此需要对系统的漏率进行测试实验与计算。式(1.78)为真空系统允许最大漏率的计算公式。
式中:Qz为系统允许最大漏率(Pa·l/s);V为系统容积(L);P1为真空泵停止时系统的压强(Pa);P2为真空腔室经过t时间的压强(Pa);t为压强从P1到P2所经过的时间(s)。
测试的方法:完全关闭真空泵后对该系统的真空度随时间变化规律进行详细记录,所得数据通过式(1.78)精确计算系统的真空漏率。表1.7为真空泵关闭后真空系统真空度随时间变化表。
表1.7 真空泵关闭后真空度随时间变化表(www.xing528.com)
由上文可知系统的容积约为0.08m3,将表1.7的数据代入式(1.78)可得8组真空系统的漏率数值,如表1.8所示。
表1.8 不同时段系统漏率数值表格
根据表1.8可知,8组漏率值均小于系统允许的最大漏率。对8组漏率值进行平均可求得系统的平均漏率为3.9×10-8 Pa·l/s,且8组中漏率最大值小于系统指标要求5×10-8 Pa·l/s,完全达到了指标设计要求。
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