【摘要】:异方性很大程度上决定了能量加工的加工精度。等方性强的加工无法控制一定方向上的加工尺寸精度而不能得到高的精度。从这个意义上来说,能量加工中以物理的能量加工为宜,用作高精度加工。相反,化学的能量加工和热的能量加工因等方性强而难以得到较高的精度。异方性低时,加工厚度(深度)尽量要薄而浅,否则精度低。此时,工件的材质如果全部均一,则完全可以达到精度。
异方性很大程度上决定了能量加工的加工精度。等方性强的加工无法控制一定方向上的加工尺寸精度而不能得到高的精度。从这个意义上来说,能量加工中以物理的能量加工为宜,用作高精度加工。相反,化学的能量加工和热的能量加工因等方性强而难以得到较高的精度。在等方性高的加工中,必须要考虑修辅那些不必要除去的部分,在此,导出下面的系。
【系1】越是等方性的高能量加工,越是必须在修补和护面罩的尺寸上下功夫。
等方性的高能量加工精度,由异方性的程度和厚度(深度)的关系决定。异方性低时,加工厚度(深度)尽量要薄而浅,否则精度低。这是因为用完全等方性的加工法以没有为界的作为目标的除去方向的加工速度要比直角方向的加工速度快。因此,包括实现完全异方性的加工法在内,可导出下面的系。
【系2】在能量加工时,加工深度越浅则加工精度越高。
希望有更多的像化学研磨机的全面蚀刻那样等方性强的加工法。此时,工件的材质如果全部均一,则完全可以达到精度。但是,实际上几乎所有的材料都是多结晶体,结晶内部和结晶粒界的物理化学性质不同,还有不纯物分布,因此加工速度也有变化。这样的结果,加工精度和表面粗糙度都不高。因此,关于这一点还有一个系导入。(www.xing528.com)
【系3】利用等方性的能量加工的尺寸精度,由工件材质的均一性决定。
这里,第2篇第21章和第26章所述内容也与之有关。
【系4】加工的尺寸精度等质量指标,由加工方法和工件材质的复杂性决定。
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