照片蚀刻法及其加工精度考察

虽然照片制作（Photofabrication）是几种加工法的总称，但作为前加工而使用照片制版技术（Photomechanical Technique）是其共同之处，其分类表示如下：

照片蚀刻法是除去加工的一种，而照片电子成形法则属于附加加工法。

（1）照片蚀刻法 照片蚀刻法（Photoetching Process）首先由自动制图机来制作原图，进行图像缩小，制成照片蚀刻用原版。同时，将做好前处理的加工素材被覆上光致抗蚀剂或者印刷用的抗蚀油墨。然后，用刚才的原版曝光、显影，对必要的地方加以选择性的保护覆盖的图像得以完成。将此与蚀刻液接触，没有保护覆盖的地方被化学除去。虽然用电解蚀刻的方法可以代替化学除去工程，但是并没有推广。

决定照片蚀刻法加工精度的问题仍然是异方性的问题，在照片制作中虽然使用所谓侧蚀量的术语，但本质上是一回事。无论是用化学蚀刻，还是用电解蚀刻，与物理加工法相比，异方性下降了。为了对此进行改善，作为和蚀刻液相接触的方法，有用喷雾的，有预先判断下削部分配之以隔离膜等方法。尺寸精度在最高情况下达±（5～10）μm，一般量产时为±（板厚）×（0.1～0.5）。半导体用照片覆盖膜（为制作半导体设计回路的曝光用原版，也被称为硬护面罩）的制造，通常在玻璃基体上对金属薄膜（500～2000Å）进行蚀刻，可以得到最小线幅为（0.5±0.15）μm的制品。(www.xing528.com)

（2）照片电子成形法 照片电子成形法可以说是电铸技术和照相制版技术两者合成的方法，虽说可以归纳到电气化学能量加工里，这里且当作照片制作法的一种。与前面的照片蚀刻法不同，而是采用隔离膜的方法。把它放进金属盐浴里，在无隔离膜处使金属（一般为铜或者镍）电析，一般当电析金属盐层厚度为1μm左右时进行机械剥离，有必要做更厚的制品时再将它放进金属盐浴里使之电析。

由于这个方法的等方性高，在制造厚的制品时必须预先把隔离膜图形做与欲电镀量相当的辅正。

用照片电子成形法得到的制品，尺寸精度要比照片蚀刻法高（硬护面罩除外），可达到±2μm。