【摘要】：动压抛光是渡边纯二等人开发的能量加工法，与EEM相似。动压抛光时，将液体中悬浮微粒子尽量与工件表面水平方向冲突，且工具和工件不接触，利用动压力将工件浮起。利用动压力，不仅使两者不接触，其间隔和加工量也有关系，因此可以期待加工效率达到一定的效果。图2.19.3 动压抛光的原理加工单结晶时，加工面的平面度达到0.3μm/75mm，没有加工变质层，结晶构造也不混乱。加工面的表面粗糙度Rmax达10左右。图2.19.4 动压抛光的装置
动压抛光是渡边纯二等人开发的能量加工法，与EEM相似。动压抛光时，将液体中悬浮微粒子尽量与工件表面水平方向冲突，且工具和工件不接触，利用动压力将工件浮起。利用动压力，不仅使两者不接触，其间隔和加工量也有关系，因此可以期待加工效率达到一定的效果。
动压抛光的原理如图2.19.3所示，动压抛光的装置如图2.19.4所示。在和研磨盘的磨研相当的工具上，沿圆周方向有锯齿状的倾斜锥面和与工件表面平行的平面。倾斜锥面的作用是将工件浮起，平行的平面的作用是使微粒子和加工表面在水平方向增加接触频度。这样，加工表面被加工的原理可视为和EEM完全相同。
图2.19.3 动压抛光的原理
加工单结晶时，加工面的平面度达到0.3μm/ϕ75mm，没有加工变质层，结晶构造也不混乱。加工面的表面粗糙度Rmax达10Å左右。据有关研究证实，若工具材料采用聚氨酯橡胶，可以得到高精度、高品质的加工面。(www.xing528.com)
丰田工机的超精密研磨机的工具形状与上不同，但利用同样的原理。
这个加工法的重要性在于微粒子以接近于水平的角度和加工面冲突。而且，在水平方向上对凸出部分做有选择的除去加工，亦即在水平方向上实现了高度的加工异方性。
图2.19.4 动压抛光的装置
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