抛光加工和超精加工都是固定磨粒加工，而且是选择压力加压法的一种。因此，它们符合进化的原理，是可以实现高精度加工的方法。图2.18.8所示为抛光加工。加工时用弹簧和油压等（图中表示用弹簧）将磨石压在工件上，用转动和往复运动来进行珩磨加工。这样，抛光面如图2.18.8b所示呈交叉网图案。抛光加工可得到形状精度、加工面表面粗糙度均优的加工精度。
图2.18.9所示为超精加工。加工时把磨石用一定的压力压在工件上，施加以振幅为2～4mm的振动伴以进给进行加工。超精加工可以得到加工变质层少而加工面表面粗糙度值小（在0.5μm以下）的加工面。
两者的加工轨迹不同，磨石的运动速度为20～40m/min，因为使用磨石，所以基本上可视两者为同种加工法。两者同属于选择压力加工法，因此符合前述进化的原理，能够用作高精度加工。
即使是这些加工法用来作高精度加工时，也必须考虑和前述系2一样的条件。即尽量把最初的磨石形状正确地整形，尽量把磨粒弄细，并采用低压力、小加工单位。结合度根据各自的加工法而异，抛光加工硬，而超精加工软，加工面表面粗糙度值才小。必须注意相反的这些条件使生产性恶化的情况。适当地考虑权衡加工精度和生产性以设定条件是关键。
作为这些加工法有加工轨迹的图形问题。抛光加工时交叉角α（参照图2.18.8b）的范围以30°～60°为好，而超精加工的切削方向θ（参照图2.18.9）的范围以40°～60°为好。这些是出于对前述系1的加工运动的随机性关系的考虑。即要对所有方向进行均匀统一的加工，使用上述角度范围为好。此处，抛光加工和超精加工有下面的系。
【系3】进行高精度抛光加工和超精加工时，要使用形状精度高而磨粒细的工具（磨石），用低的压力加工为好。(www.xing528.com)
图2.18.8 抛光加工
图2.18.9 超精加工
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