液体过滤器的选择和应用技巧：采用静压导轨的效果以及材料选择和加工误差缩小

从导轨面来说，滑块和导轨固定侧之间仅存在很少的油膜，并且有金属接触滑动导轨的场合，工作台和导轨固定侧的误差直接出现在工作台的运动里。此时，若按照这个设计原理，必须将误差从带有误差的零件处吸收与除去。此处将滑动导轨用其他来代替。例如采用静压导轨，在金属间有油存在而且两者不接触。因此，这个油层就成了过滤要素，将导轨固定一侧的误差几乎全部吸收，滑块的运动近乎理想，可以实现高精度的运动。这个叫作平均化效果，油在此作为容易变形的媒介。

以空气代替油可以得到同样的结果。如果不用油而用滚子，这样刚性高的元件，则和滑动导轨的情况一样，固定导轨面的误差在工作台的运动中反映出来，此时，还有滚子的误差重叠起来的问题。即处于有误差的运动基准（导轨固定侧）和移动体之间的过滤器要用易变形且刚性低的材料。当输入力大而希望系统的变形小，则要求系统的刚度大，在这种情况下，以考虑系统刚度为重点，这是因为有变化（输入）×刚性→力（输出）这样的关系。机床的刚度链精度设计是极其重要的目标。

夏普的激光扫描器使用的多面镜超精密切削加工机的油压静压导轨如图2.12.2所示。油压静压螺纹见图2.12.3，采用该油压静压螺纹，在丝杠长度为500mm时最大加工误差为8μm，由于过滤效果的原理，这个误差缩小了1/3。(www.xing528.com)

【系1】在运动基准有误差时，在移动体和它之间介入流体，可以将误差在一定程度上吸收、除去（过滤效果）。