精密机械工程学把加工变质层包含在评价项目内，对于精密机械工程学来说，加工变质层是决定表面性能的重要因素之一。
图2.2.13 旋转精度测定法的例子（Vanherck）
表面有各种各样的性能，其中与母材是否具有同样性质的表面是非常重要的项目。在设计时选择材料，使用其表面，表面必须具与母材同样的性质。这个因素影响最终制品的性能。具体来说，常年变化的形状尺寸所引起的残留应力，对表面处理性、反射率、导电性、耐蚀性、耐磨性等都会产生影响。
最近，精密机械工程学将表面处理性作为其主要的研究项目。例如，磁盘的磁性膜、多角镜的保护膜、无结晶合金硅感光筒的半导体感光膜，由于涂布、电镀、喷镀、蒸着等表面处理是很普及的，就是说，表面处理性是影响制品最终性能的重要项目，这样一来其与加工变质层就有关系了。
常年变化的形状尺寸对尺寸精度、形状精度有很大影响，例如，量块等在26年间有0.8μm的变形，这个常年变化对加工变质层有很大的影响。
加工变质层因加工方法不同而有各种各样的值和形态，不能一概而论，但一般切削加工时可举例如图2.2.14所示，最表层近于非品质层叫作层，厚度在1μm以下。下面一层是纤维层，承受一定强度的塑性变形，与压延材料的组织相似，厚度在10μm。再下一层是塑性变形层，承受塑性变形而呈破坏形状。再往下是晶粒内滑移层，结晶粒没有大的破坏，仅在内部发生滑移。
如图2.2.14所示，加工变质层的厚度还不能确定，但从常识上看，非晶质层、纤维层、塑性变形层即为加工变质层。由此可见，表面的性质和母材有很大的区别。
加工变质层的测定法，主要有6种：超声波显微镜法、腐蚀法、显微镜组织法、X线回折法、硬度法、再结晶法。
1）超声波显微镜法如图2.2.15所示。用反射型超声波显微镜解析来自试料的超声波反(www.xing528.com)
图2.2.14 加工变质层模型举例（根据加工条件而形状变化）
射以研究加工变质层，其测定精度可达微米级，是非常高的精度，但尚未普及。
图2.2.15 用超声波显微镜法测定加工变质层
2）腐蚀法是将试料切成只露出加工变质层的那面，其他的面用石蜡等覆盖。用腐蚀液浸之，每隔一定时间用高感度、高精度的质量计测量其质量，当腐蚀量（腐蚀速度）达一定时，可以测出腐蚀深度值。腐蚀液一般用1%的硝酸溶液，液体温度可令腐蚀速度改变，在一个测定试验期间温度必须保持恒定。
3）显微镜组织法是将试料侧面研磨后，用显微镜观察，以目视测定加工变质层的深度。
4）X线回折法是将试料用硝酸在其表面按一定的深度（例如每隔10μm）顺次腐蚀，拍摄X线回折像。加工变质层的回折环不鲜明，加工变质层除去后回折像鲜明起来。
5）硬度法是在断面处从表层向内部顺次用微型测头测定硬度，由此推定加工变质层的深度，太浅的加工变质层不能采用此方法。
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