由于滚珠丝杠的驱动零件多，传动链长，高精度定位所要求的刚度不易保证，因此最近采用直线电动机的厂家多起来，直线电动机驱动有了巨大发展。图1.6.23所示为标准型直线电动机导轨的构造。直线电动机的发展目标有：
（1）高推力、高节拍 图1.6.24所示为X、Z轴组合直线电动机导轨的结构，该机构把X轴和Z轴一体扁平化，使用了高刚度带自润滑导轨的环状机构，实现了直线电动机的高推力化和可动部的轻量化，同时缩短了动作节拍时间，使用电气定位控制程序后，可以实现自由自在的动作。
图1.6.23 标准型直线电动机导轨的构造
图1.6.24 X、Z轴组合直线电动机导轨的结构
（2）高精度化 图1.6.25所示为IKO公司的高精度型直线电动机导轨装置的结构图。工作台的导轨采用了滚柱型的齿条和小齿轮结构，具有1μm以下的定位精度和运行真直度（真直度是理想状态下的直线度，因为受环境温度及重力的影响，直线度是很难保证绝对“直”，所以为了研究方便，才假设绝对不变的直线度叫真直度），同时采用了空气静压轴承，实现了高刚度没有脉动现象的平稳动作。姿势精度在5s以下，速度稳定。
（3）高分解能力和快速反应 在X、Z两轴采用光学式直线编码器，使用全反锁闭环控制，实现了尺寸精度的高分解能力和快速反应。图1.6.26所示为高分解能力和高应答特性图。
图1.6.25 高精度型直线电动机导轨装置的结构图
图1.6.26 高分解能力和高应答特性图(www.xing528.com)
（4）空气冷却 集中对固定线圈进行空气冷却，冷却的模式可以选择，缩短了动作节拍。图1.6.27所示为空气冷却示意图；图1.6.28所示为温度与推力的关系图。
（5）可动部分无电缆 作为多轴联动装置，电源线的布线会影响装置的空间配置和精度，因采用了永久磁铁作为移动部件，定子线圈的配线简单化，而且移动部分无须配电缆。
（6）运行实现计算机监控 使用操作监控机能，用计算机进行运行操作监控。
图1.6.27 空气冷却示意图
图1.6.28 温度与推力的关系图
（7）高刚度化 除了个体直线电动机导轨采用图1.6.24所示高刚度环状导轨外，还可以如图1.6.29所示，将两台直线电动机导轨并列平行使用，不仅可以增大工作台的推力，而且相当于实现了大跨度的导轨功能，提高了工作台的姿势精度，即提高了系统刚度。
图1.6.29 两轴并列平行大跨度直线电动机导轨
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