高频火花检漏法用于真空检测

高频火花检漏器是真空实验室中常用来作低真空估计（10^-1～10⁴Pa）及玻璃系统检漏的一种仪器。高频火花检漏器的外形及电路如图9.5-4所示。

图9.5-4 高频火花检漏器的外形及电路

当按下开关K后，220V的交流电源就接通了，振动线圈L₁便产生交变磁场并吸放接触头C_D，经电容器C及谐振线圈L₂产生高频电压，在线圈L₃上感应的高频电压由放电簧F放出高频火花。这种高频火花在空气中呈紫色线状，一般有三条以上，长度在20mm以上。

用高频火花检漏器进行检漏的方法如下：

1）火花法。适用于玻璃系统。先将系统抽成真空，用高频火花检漏器放出的火花尖端沿玻璃表面移动。当遇到漏孔后，火花便集中成一束，穿过漏孔进入真空系统中，在漏孔处形成一个亮点，这样便可以判断漏孔存在的位置。

2）放电法。利用低真空气体辉光放电颜色来检漏。当高频火花检漏器放出的火花打在真空度为1～1000Pa的系统的玻璃上时，会因感应而使系统内的气体产生辉光放电，其放电颜色与系统中的气体种类有关。检漏前，系统中是空气，其辉光呈紫红色或玫瑰色。这时，若用蘸有乙醚、酒精、丙酮、汽油或其他一些易挥发的碳氢化合物的棉花在系统外表涂擦或用喷雾器喷射，当遇到漏孔时，乙醚等蒸气就会通过漏孔进入系统，立刻使辉光颜色发生变化，由此便可判断漏气的存在及其位置。(www.xing528.com)

放电法既适合于玻璃系统，也适合于金属系统。对于金属系统来说，如果直接用火花去打，由于火花打在金属上发生高频短路，所以非但不能检漏，而且时间长了还会因高频电流过大而使仪器烧坏。因此需要在系统的管道上用真空胶管连接一段玻璃管，通过玻璃管中辉光颜色的变化来指示漏气的存在。各种气体或蒸气的辉光颜色如表9.5-1所示。

在实际检漏中，由于不同玻璃会发出不同颜色的荧光，且系统中的气体成分较多，所以其辉光颜色会有所不同，但检漏中应以示漏物质的辉光颜色为主来判断漏气与否。

该种方法的最小可检漏率一般可达1×10^-3 Pa·m³/s。

表9.5-1 各种气体或蒸气的辉光颜色