离子泵检漏法：快速检测漏孔的方法

溅射离子泵的离子流大小与系统压力有关，因此，像电离真空计一样，用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这是一种既简单又灵敏的检漏方法。

离子泵检漏法检漏系统如图9.5-2所示。当用离子泵对被检容器抽气时，数分钟便可达到平衡压力。此时，当用氩气喷吹在漏孔上时，由于泵对氩气具有比空气低的抽速，因此离子泵的离子流指示就会迅速上升，指示了漏孔的存在。当改用氢或氧来检漏时，由于泵对氢和氧具有比空气大的抽速，因此离子泵的离子流指示就会迅速降低。当漏率大于10^-6Pa·m³/s时，真空阀门5可能要关小，真空阀门4、7、9全开，以免检漏过程中系统的压力上升过快，离子泵的离子流过大导致过载；当漏率小于10^-6Pa·m³/s时，真空阀门5可以全开，真空阀门4可以关闭，可提高检漏灵敏度；当漏率小于10^-9Pa·m³/s时，需要等待较长时间，待系统真空度较高时才能进行检漏。

这种检漏方法的最小可检漏率可达10^-12 Pa·m³/s。

检漏中应注意以下两点：

1）这种方法的检漏灵敏度随系统真空度的提高而提高，因此应尽量在较高真空度（较低的本底压力）下进行检漏。(www.xing528.com)

2）当系统压力小于10^-6Pa时，应附加静电放大器来测量离子泵电流。由于静电放大器很容易测量1×10^-12A的电流变化，因此最小可检漏率可达10^-12Pa·m³/s。

图9.5-2 离子泵检漏法检漏系统

1—被检系统 2—示漏气体喷枪 3—真空计 4、5、7、9—真空阀门 6—离子泵 8、10—吸附泵 11—离子泵电源