前级泵排气口检漏取样方法

前级泵排气口取样法检漏是真空喷吹检漏和正压吸枪检漏两种方法的结合。将被检容器抽真空后，在被检容器外壁可能泄漏的部位用喷枪喷吹氦气，当氦气喷在漏孔上时，氦气通过漏孔进入被检容器中并被抽气系统抽走，由前级泵排气口排至大气中，提高了排气口周围大气中的氦分压。如果在前级泵排气口处用与检漏仪直接相连的吸枪取样，检漏仪就会有信号输出，从而可判定漏孔的存在和位置。在被检容器上安装一支通道型标准漏孔，可以测量检漏系统的反应时间及有效最小可检漏率，还可以进行漏率对比，确定漏孔漏率的大小。前级泵排气口取样法检漏系统示意图如图9.4-14所示。

前级泵排气口取样法检漏不受被检真空容器容积大小的限制（可以检测数千立方米的大容器）、不要求被检件抽高真空、不破坏被检件的真空系统，特别适合真空系统的不停机检漏。

由于前级泵排出的气体中含有大量采自真空系统和泵的油蒸气和水蒸气等有害气体，直接用吸枪采样，会严重污染吸枪甚至堵死吸枪采样口。因此，在排气口处要安装合适材料的吸附阱或冷凝阱，将油蒸气和水蒸气等污物吸附或冷凝掉。这样不但保护了吸枪，而且对氦气又有积累作用，可以提高吸枪检漏的灵敏度。

一般地，大型旋片真空泵内的泵油具有较强的吸附氦气的功能，检漏时会延长反应时间和清除时间，使用时应注意。另外，分子筛吸附泵不适合做真空机组的前级泵。(www.xing528.com)

前级泵排气口取样法检漏，已在火力发电厂的汽轮机和凝结器、钢铁厂的大型真空熔炼炉、机械厂的大型真空淬火炉、大型彩色钢板镀膜生产线的真空室、大型真空封接炉等的检漏中得到成功的应用。

图9.4-14 前级泵排气口取样法检漏系统示意图