【摘要】:式和式中的Δ是物体变形使P、Q点光程差变化而导致的相对相位差。参考图6.3-4,计算变形前、后由P点反射至像平面的光波的光程差:变形前:l=SP+PO,其中:SP2=2+2+2PO2=2+2+2图6.3-4 位移与光程关系变形后:l′=SP′+P′O,其中:SP′2=2+2+2P′O2=2+2+2略去小量后可得到:其中R2o=x2o+y2o+z2o,R2s+x2s+y2sz2s。式与式建立了ES技术中变形与干涉图像之间的联系。
式(6.3-3)和式(6.3-4)中的Δ是物体变形使P、Q点光程差变化而导致的相对相位差。参考图6.3-4,计算变形前、后由P(x,y,z)点反射至像平面的光波的光程差:
变形前:l=SP+PO,其中:
SP2=(x-xs)2+(y-ys)2+(z-zs)2
PO2=(x-xo)2+(y-yo)2+(z-zo)2
图6.3-4 位移与光程关系
变形后:l′=SP′+P′O,其中:
SP′2=(x+u-xs)2+(y+v-ys)2+(z+w-zs)2
P′O2=(x+u-xo)2+(y+v-yo)2+(z+w-zo)2
略去小量后可得到:
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其中R2o=x2o+y2o+z2o,R2s+x2s+y2sz2s。
对于在底片上与P成像于同一点的Q(x+δx,y,z),其位移可表达为(u+δu,v+δv,w+δw),于是与P(x,y)点一样,可得光程差表达式:
所以:
其中:
一般情况下Rs、Ro都较大,故:很小,可以近似认为D=0,而略去。所以有:
此式为错位散斑干涉测量技术的基本关系式。式(6.3-4)与式(6.3-5)建立了ES技术中变形与干涉图像之间的联系。激光全息和ESPI技术得到的干涉条纹图大致可视为等位移图(通常关注离面位移,得到环状条纹图可近似视为等高线图),与之相比,错位散斑得到的干涉条纹图的物理含义复杂,解释更为抽象。
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