传统的射线CT使用线阵列探测器,只能逐层进行扫描,对于那些整体性检测的需求来说,如工件内部缺陷的三维立体检测、结构正确性检测、几何特征及尺寸的检测、密度分布、逆向工程等,即使单次扫描时间并不长,多层的累计时间也会使检测过程漫长,检测成本过高。显然,实现三维快速成像是工业射线CT发展的趋势。
1999年,面阵列探测器研制成功,伴随着技术上的不断改进和圆锥射束、多CPU并行处理技术的采用,已为三维快速射线CT提供了硬件上的支持。目前,国外已经有商业化的三维快速工业射线CT机供应市场,并获得了一些成功的应用。例如,美国HYTEC公司生产的FlashCT系列三维快速工业射线CT系统,其射线源能量范围为30~450kV(管电压)和1MeV~20MeV;像素尺寸为127μm;空间分辨力为4lp/mm;密度分辨力为0.3%。
面阵列探测器又称数字面板探测器,是在一个大的非晶硅面板上,蚀刻形成数百万个光子探测器(光敏二极管)的阵列,它被放置于闪烁体后。射线照射闪烁体产生的光子直接传至光敏二极管形成电流。使用面阵列探测器,相当于一次可采集上千层的数据。CT扫描速度和高度方向(Z轴)的测量精度都发生了质的飞跃。为处理如此巨大的数据量,需要同时有上百个CPU并行计算。(www.xing528.com)
圆锥射束CT成像基本上与一般CT成像相同,但是不用前、后准直器对入射射线束进行准直使其成为薄的扇形射束,而是利用探测器阵(如利用1024×1024像素的非晶硅探测器阵)接收整个圆锥形射束所形成的X射线图。一次投影包含了许多次一般CT的片状数据,试件绕轴作多次旋转进行多次投影(如72次)以对数据进行识别、重建图像。对于圆锥射束CT而言,数据处理和图像重建要比一般的CT更为复杂。这种成像技术的明显优势在于能够很快对整个体积进行扫描,特别适合于精度要求高、扫描范围要求覆盖整个体积的小尺寸工件的检测,如细小缺陷、密度分布、装配精度、电子元件内部结构等,以及逆向工程、数字制造中所涉及的产品仿制、制造验证(与设计对比)等工程应用。比较一般传统的射线CT,可节省大量的时间和费用。例如,对一个直径约150mm,高为60mm的工件进行1000多层的扫描,只需约30min。
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