电液比例伺服阀（伺服比例阀）又称为高性能电液比例方向阀。它的性能指标介于普通比例方向阀和电液伺服阀之间。其特点是电-机械转换器采用大电流比例电磁铁，而不采用电液伺服阀的力矩马达结构，阀芯和阀套采用伺服阀的加工精度，主阀阀口采用零重叠形式，无零位死区，频宽比一般比例阀高。几种比例伺服阀的性能指标见表4-1。从表4-1中可以看出，比例伺服阀的性能指标已接近电液伺服阀的水平（一般伺服阀的滞环约0.1%，频宽为60～200Hz或更高），但比例伺服阀过滤精度要求较低，一般为10～20μm，伺服阀要求1～5μm，因此特别适用于各种工业领域的闭环控制系统。
表4-1 四位四通直动式与三位四通先导式比例伺服阀主要性能
图4-22所示为四位四通直动式比例伺服阀结构原理图，它采用单比例电磁铁4驱动，通过位移传感器检测阀芯的位移，反馈电信号与给定电信号经比较后的差值通过比例放大器变成输入信号，以纠正阀芯位移的偏差。为了实现零位重叠，增加了阀套结构，阀套2装入阀体1，阀芯3在装入阀套。阀芯与阀套之间有严格的尺寸要求和精密的配合关系，仅适合于NG10以下通径的比例伺服阀。
图4-22 四位四通直动式电液比例伺服阀结构原理图(https://www.xing528.com)
1—阀体 2—阀套 3—阀芯 4—比例电磁铁 5—位移传感器
图4-23所示为三位四通先导式比例伺服阀结构原理图，它采用单比例电磁铁驱动的小通径换向阀作为先导级，功率级为三位四通零重叠滑阀。由先导阀阀芯的位移传感器3、主阀阀芯的位移传感器2与比例放大器4组成位置闭环控制。该阀的特点是具有优良的工作性能，适用于NG10以上的比例伺服阀。对NG32的阀，最大输出流量可达到1000L/min。NG10的阀频宽可达70Hz。此外，这类阀将比例放大器，先导阀与主阀集成为一体，充分体现了集成技术的优越性。
图4-23 三位四通先导式比例伺服阀结构原理图
1—主阀阀芯 2—主阀阀芯位移传感器 3—先导阀阀芯位移传感器 4—比例放大器 5—先导阀阀芯
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