测量机床导轨平面度的检测仪器

（1）平面度检查仪的外观及结构 图2-3为平面度检查仪的外观图。

图2-3 平面度检查仪

1—目镜 2—带刻度微动手柄 3—紧螺钉

1）平面度检查仪的基本参数：

工作距离：6m、10m、15m、20m；

物镜焦距：400mm；

口径：42mm；

目镜放大倍率：1.75倍；

微动手轮分度值（每格相当）1μm/200mm，约为1″。

2）平面度检查仪的示值精度：(www.xing528.com)

当微动手轮不超过一圈时，为±（0.5+0.01n）格；

当微动手轮不超过一圈时，为±（1.5+0.0015n）格。

注：n为实际测量格数，如转动一圈，n=100格；转动两圈，n=200格。

3）仪器尺寸（长×宽×高）245mm×57mm×157mm

（2）平面度检查仪的光学系统图 如图2-4所示。

图2-4 平面度检查仪光学系统图

1、4、5—反射镜 2、3—物镜 6—分光棱镜 7、8—分划板 9、10—目镜 11—十字线分划板 12—滤光片 13—光源

（3）平面度检查仪光学系统的工作原理 光源“13”发射光线，通过滤光片“12”，均匀照到“十字线”分划板“11”上。“十字线”像经过分光棱镜“6”、反射镜“4”、“5”、物镜“2”、“3”成平行光到达平面反射镜“1”。如果反射面法线和光轴夹角为α，则反射光线与原光线成2af的线量。（f为物镜焦距）。反回到目镜“9”、“10”中来，它通过分划板“7”、“8”。

用平面度检查仪测量机床导轨垂直面内的直线度和两导轨的平面度的方法后面详细介绍。