白光干涉测量法用白光作为光源，白光光源是各波长单色光的叠加，为连续光谱。光源光谱中不同的波长之间互不相干，不同波长的条纹叠加成了白光条纹。图6.12（a）为用黑白CCD 拍摄到的轴向扫描几个位置处（不同光程差）获得的球面被测物的白光干涉图。图6.12（b）所示为在3 个不同波长下，某一固定点在不同轴向位置处的光强分布曲线，即干涉光强与光程差的关系曲线。因为光源每一波长对应条纹的间距是不同的，仅有一个位置包含了所有波长对应条纹的最大值，即光程差为0 的位置（等光程位置）。图6.12（c）为图（b）中所有波长条纹的强度叠加结果。光强峰值称为零级条纹，在其两边相邻的条纹则依次为+1 级、-1 级条纹及+2 级、-2 级条纹。
从图6.12（c）可以看出，一方面，随着光程差及干涉条纹级数的增加，干涉条纹中亮纹的强度将逐渐降低，直至干涉条纹消失；另一方面，与单色光干涉不同，白光干涉条纹的对比度随光程差的增大而降低，只有等光程位置时，条纹对比度变化剧烈并且呈现非周期性变化。该特征很容易与其他级条纹相区别，利用这一特征可以实现等光程位置的测量。因此，定位等光程位置是进行白光扫描干涉测量的关键。
图6.12 白光干涉条纹及光强变化曲线(www.xing528.com)
（a）不同轴向位置处的白光干涉条纹；（b）3 个不同波长的光强-轴向位置分布轴线；（c）白光光强-轴向位置分布曲线
白光光源的带宽越宽，时间相干性越差，由它产生的两束光波之间的相干光程就越短，基本上要在等光程差位置附近才能观察到干涉条纹，且条纹也只有为数不多的几条。采用白光干涉技术测量表面时，其干涉图样很难获得。但是条纹条数少，对比度下降快，对等光程位置的判断确非常有利，因此，其大量应用于干涉式光学轮廓仪中。
由于等光程位置附近光强呈现非周期性，它有效地消除了2π 不定性，因此可实现较大高度范围的测量，从而克服了窄带光源干涉轮廓测量范围小的不足。对于非连续表面，尤其是阶梯状表面来说，基于窄带干涉的测量仪器根本无法分辨条纹的整数级次，而白光干涉的测量仪则不受表面高度突变的影响，因此白光干涉已广泛应用于表面三维微观形貌测量中。
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