【摘要】：但是，由于光波振动的周期性，干涉光强中被相位调制的干涉项是被测相位的周期性函数。因此，这种方法仅能实现对应2π 弧度相位范围内光程的测量，超过此范围，干涉仪的输出将呈周期性变化，导致测量结果不唯一。为了克服上述缺点，人们研究和发展了一些扩大测量范围的方法，其中就包括白光干涉轮廓仪。其后美国Veeco 公司经过多年开发，推出了Veeco NT 系列光学轮廓仪。
现代的干涉计量一般都用激光作为光源，这主要是由于激光的相干长度长，可以很容易得到干涉条纹。在表面形貌测量中，由于激光所形成的干涉条纹，各级次有着近乎相同的对比度和条纹宽度，一般用相移干涉法（PSI）对获得的多幅干涉条纹进行处理，并通过相应的相移算法得到被测面的三维形貌。但是，由于光波振动的周期性，干涉光强中被相位调制的干涉项是被测相位的周期性函数。因此，这种方法仅能实现对应2π 弧度相位范围内光程的测量，超过此范围，干涉仪的输出将呈周期性变化，导致测量结果不唯一。为了避免出现相位的不确定性，要求表面形貌的深度变化限定在一定范围内，造成测量范围小的缺点。为了克服上述缺点，人们研究和发展了一些扩大测量范围的方法，其中就包括白光干涉轮廓仪。
1982年，美国Balasubramanian 提出白光干涉法测量表面形貌原理，1990年，美国斯坦福大学的Kino 等利用这一原理测试表面，设计了Mirau 干涉显微镜。其后美国Veeco 公司经过多年开发，推出了Veeco NT 系列光学轮廓仪。该系列的光学轮廓仪基于Mirau 干涉显微镜，采用了相移干涉、垂直扫描白光干涉或增强型垂直扫描白光干涉三种测量方式，实现对微观高度从0.1 nm 到数毫米的高精度测量。此外，美国ZYGO 公司也推出了基于类似方法的NewView 表面三维轮廓仪等。(www.xing528.com)
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