【摘要】：1974年，Burning 等人提出移相干涉技术PSI。他将通信理论中的同步相位探测技术引入到光学干涉测量中，是计算机辅助干涉测试的一个重大的发展。移相干涉技术的原理是在干涉仪的两束相干光差之间引入一定的相位差序列，使参考光与测量光之间光程差分布的常数项发生变化，从而得到多幅干涉图。直观地看，在移相过程中干涉条纹的位置发生平移。
1974年，Burning 等人提出移相干涉技术PSI（Phase Shifting Interferometry）。他将通信理论中的同步相位探测技术引入到光学干涉测量中，是计算机辅助干涉测试的一个重大的发展。移相干涉技术的原理是在干涉仪的两束相干光差之间引入一定的相位差序列，使参考光与测量光之间光程差（或相位差）分布的常数项发生变化，从而得到多幅干涉图。直观地看，在移相过程中干涉条纹的位置发生平移。用光电探测器对多幅干涉图进行采样，然后把光强数字化后由计算机按照一定的数学模型，根据干涉图光强的变化，就可以解算出被测波前相应的相位分布，同时还可以分辨出波面的凹凸性。
多幅采样可以减少噪声的影响，在干涉条纹对比度不太好的情况下，可以得到较好的结果。同时，由于波前上任意一点的相位是由各幅干涉图在该点的光强数据求得，与其他点的光强无关，因此整个光瞳面上光强分布不均匀对测量精度影响较小，可以较好地避免激光光强高斯分布对干涉测量结果的影响。移相干涉测量技术最重要的优点在于它提供了一种快速、简洁、高精度、高分辨率、自动化的测试技术，其关键在于通过计算机分析处理多幅具有一定相位差的干涉图，获得被测波前的相位值。(www.xing528.com)
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