本重大研究计划创新性地将宏观尺度的纳米精度研究纳入纳米制造研究中，向批量化、一致性、低成本的制造技术和工艺装备聚焦，通过原理创新及前沿技术攻关，培养汇聚了一批学科交叉、从事纳米制造研究的优秀队伍，为我国纳米制造技术的发展奠定了坚实的基础，为解决中国制造的战略任务、在国际上形成有重要影响的研究成果发挥了重要作用。
本重大研究计划自启动以来，瞄准纳米制造领域的前沿科学问题和发展趋势，着力推动机械、材料、物理、化学、生命、信息、力学等学科之间的交叉融合，取得了以下主要创新性研究成果[6]。
揭示了原子层级化学机械去除机制，建立了光学全频段亚纳米精度的加工方法，形成了晶圆化学机械平坦化装备、光刻机镜头抛光装备，在集成电路生产线获得应用，打破了国外垄断，为芯片制造行业解决“卡脖子”问题提供关键支撑。
在国际上首次提出了界面电荷调控的纳米压印新原理、新方法，研制了气电协同压印、卷对卷跨尺度压印等系列纳米压印装备，在国家重大工程、国防军事、消费电子等领域获得了应用，使纳米压印从实验室走向了工程应用。
提出了电子动态调控的飞秒激光制造新原理、新方法，在国际上首次实现了对瞬时局部电子动态的主动控制，研发了激光微纳制造技术和装备，为国家重大工程的靶球制造提供了支撑。
发展了微结构表面的局域选择性多重构筑和批量化制造方法，建立了较为完善的纳米制造方法与工艺体系，自主研发了装备17台/套，在若干领域打破国际垄断，达到国际先进水平。(https://www.xing528.com)
本重大研究计划执行期间在国际期刊发表SCI论文3813篇，其中在包括Nat Nanotechnol、Nat Mater、Nat Phys、Nat Energy等顶级期刊上发表论文19篇，入选ESI高被引论文91篇；授权发明专利935件（含美国/欧洲专利11件），出版中英文专著66部；荣获国家自然科学奖二等奖6项、国家技术发明奖二等奖5项、国家科技进步奖二等奖1项、何梁何利奖励2项、国防科技创新团队奖1项、省部级奖励21项等。在本重大研究计划的支持下，实现了跨学部多学科交叉，在纳米制造领域培育了一批具有国际水准的优秀科学家。在本重大研究计划实施期间，专家指导委员会或项目承担人中有6人当选中国科学院院士、2人当选中国工程院院士。项目承担人中4人入选美国机械工程师协会（ASME）会士、电气和电子工程师协会（IEEE）会士，18人获得国家杰出青年科学基金项目资助、15人获得教育部“长江学者”称号，6人获得优秀青年科学基金项目[6]。
本重大研究计划的实施极大提高了我国在国际纳米制造领域的地位，实现了我国从跟踪到跻身世界先进行列的跨越式发展。
本重大研究计划完成后领域内发展态势对比可见表1.1。
表1.1 发展态势对比
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