总体科学目标的优化方案：探索未来科学发展之路

作为工程与材料科学领域的一项重大研究计划，“纳米制造的基础研究”旨在通过多学科交叉研究，探索基于物理/化学效应的纳米制造新原理与新方法，揭示纳米尺度与纳米精度下加工、成形、改性和跨尺度制造中的表面/界面效应、尺度效应等，阐明物质结构演变机理，建立纳米制造过程的精确表征与计量方法，发展若干原创性纳米制造工艺与装备，为实现纳米制造的一致性和批量化提供理论基础。因此，本重大研究计划聚焦于下列研究方向，并取得了一系列研究突破[2, 3]。

亚纳米级精度表面制造原理与方法。从物质的原子/分子与能量束之间的作用机制出发，揭示原子迁移和原子尺度下材料去除加工规律；建立新的制造原理、方法和工艺路线，为解决14 nm以下线宽的IC制造提供了理论支撑和技术途径。

大面积微纳米结构精确复形制造。从微纳米间隙中外场诱导的物理/化学作用机制出发，揭示微纳米结构生成过程中材料流变与去除规律，建立新的制造原理、方法和工艺路线，实现柔性电子器件、新型传感器、微光学阵列元件等大面积微纳结构高效制备。(www.xing528.com)

“Top-Down（自上而下）”与“Bottom-Up（自下而上）”结合的纳米制造方法学研究。结合“自上而下”和“自下而上”的加工方法，建立新的纳米尺度制造原理、方法和工艺路线，解决纳米器件和系统结构的可制造性问题。

基于电子动态调控的超快激光微纳制造新方法探索。通过优化脉宽短于电子弛豫时间的超快激光脉冲序列的时空分布，调控被加工材料的电子密度、温度、能级分布、自旋等电子状态及相应瞬时局部材料特性，从而实现全新的高质量、高精度、高效率制造方法，并将其应用于航空航天、信息领域的关键器件/结构制造。