【摘要】：均方根波前误差是瞳面上所有点的波前与最佳参考球面波前的光程差的平方和平均值的开方。图6-9PV值相同,RMS值完全不相同的两个波前6.2.1.2瑞利1/4波长极限如果某一视场物点发出的通过系统整个孔径的光束,其光程差不超过1/4波长,则系统对这一物点所成的像是完善的,符合这个判据的系统是衍射极限系统。
6.2.1.1 波像差
应用波面描述光学系统对点物的成像,一般采用波像差来评价像质。定义波像差是实际波面对理想波面的偏离,两波面的球心取为给定视场的像点,波像差也是实际波面与理想波面之间的光程差。一般在出瞳面上计算由出瞳上每一点(
,
)出射光线与主光线之间的光程差得到波像差W(
,
)。所以波像差函数W(
,
)可以绘成图6-8所示的三维波差图。
图6-8 三维波差图
波像差的量值可用峰谷波前误差(PV)和均方根波前误差(RMS)两种评价指标来描述,峰谷值波前误差是波差图上最高点(在参考波前之前)与最低点(滞后,在参考波前之后)波差值之差来计算。均方根波前误差是瞳面上所有点的波前与最佳参考球面波前的光程差的平方和平均值的开方。图6-9给出了PV值相同但RMS明显不同的两种波前的实例。(www.xing528.com)
图6-9 PV值相同,RMS值完全不相同的两个波前
6.2.1.2 瑞利1/4波长极限
如果某一视场物点发出的通过系统整个孔径的光束,其光程差不超过1/4波长(即波像差的PV≤λ/4),则系统对这一物点所成的像是完善的,符合这个判据的系统是衍射极限系统。如用均方偏差RMS值来建立判据,则为Marechal判据,RMS≤λ/14。
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