直接检测平面度误差的方法有哪些？

答：按测量原理、测量器具等分类，平面度误差直接检测方法分为以下种类。

（1）间隙法 按131题（1）所述直线度误差间隙法，根据被测平面形状，沿多个方向进行测量，如图273所示，测得不同方向上若干个截面的直线度误差值，取其中最大值作为平面度误差近似值。该方法适用于磨削或研磨加工的小平面平面度误差的测量。

图273 平面度误差间隙检测法

1—被测零件 2—刀口尺 3—毛玻璃 4—灯光箱 5—光源

（2）指示器法 用带指示器的测量装置或坐标测量仪，测出被测平面相对测量基面的偏离量，进而评定平面度误差值的方法。

图274 平面度误差指示器检测法

1—指示器 2—被测零件 3—平板 4—可调支承

检测方法如图274所示。将被测零件2支承到平板3上，首先通过可调支承4将被测平面上两对角线的角点分别调成等高，或将被测平面上三远点调成等高。然后按一定布点形式（便于数据处理）逐点移动指示器1，同时记录各测点示值h_i。取其中各测点中最大与最小示值之差h_max-h_min作为该被测平面的平面度误差值。

（3）光轴法 以几何光轴建立测量基面，测出被测平面相对测量基面的偏离量，进而评定平面度误差值的方法。

图275 平面度误差光轴检测法

1—瞄准靶 2—转向棱镜 3—准直望远镜 4—被测零件(www.xing528.com)

检测方法如图275所示。将瞄准靶1放到被测零件4上，首先将被测平面上两对角线的角点分别调成等高，或将被测平面上任意三远点调成等高。然后按一定布点形式移动瞄准靶，逐点进行测量，同时记录各点示值h_ij，即可得各测量点相对测量基面（由准直望远镜形成）的坐标值Z_ij=h_ij。取各测点中最大与最小示值之差h_max-h_min作为该被测平面的平面度误差值。也可按误差评定方法求得更精确的误差值。该方法适用于一般精度大平面平面度误差测量。

（4）干涉法 利用光波干涉原理，根据干涉条纹形状、条数来确定平面度误差值的方法。

检测方法与131题（3）所述直线度误差干涉检测方法完全相同。该方法适用于精研表面的平面度误差测量。

（5）液面法 以液体构成的水平面作为测量基面，测出被测平面相对测量基面的偏离量，进而评定平面度误差值的方法。

检测方法如图276所示。先将一个连通罐置于被测一角A处，由指示器2组成的传感器测出罐内液面高度，再将另一连通罐分别移至相互间隔最远的两点B、C处，调整被测零件6使最远点A、B、C三处连通管液面高度相等。此时水平面即为测量基面。按一定布点形式移动连通罐，利用液面高度测量装置测得各测量点处液面高度变化。将测量示值与零位示值之差h_ij乘以2并做记录，即获得各测点相对测量基面的坐标值Z_ij=2h_ij。取各测点中最大、最小示值之差的两倍，即2（h_max-h_min）为该平面度误差值。该方法适用于大平面的平面度误差测量。

图276 液面法

1—支架 2—指示器 3—触头 4、5—连通罐 6—被测零件

液面法所采用的液面高度测量装置如图277所示，是由支架1、托架2和指示器7等构成。测量时通过旋柄3转动齿轮4，带动螺杆5旋转，驱动指示器上的量头6上下移动，触头8也随之产生上下位移，用以调整触头与连通罐内导电液体相接触。当触头与液面接触的瞬间，电路接通，通过信号灯（或电表）显示出来，此时可读取指示器上的读数。

图277 液面高度测量装置

1—支架 2—托架 3—旋柄 4—齿轮 5—螺杆 6—量头 7—指示器 8—触头