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光栅分类及结构详解

时间:2023-06-30 理论教育 版权反馈
【摘要】:长光栅又称为光栅尺,用于测量长度或线位移;圆光栅又称盘栅,用于测量角度或角位移。图10-9 透射光栅示意图2.光栅结构在镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹,没有刻划的白的地方透光,刻划的发黑处不透光,这就是光栅。目前常用的光栅每毫米刻成10条、25条、50条、100条、250条线条。圆光栅也称为光栅盘,用来测量角度或角位移。

光栅分类及结构详解

1.光栅分类

光栅按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线细密,利用光的衍射现象,主要用于光谱分析和光波长等量的测量;在几何量计量中使用的光栅称为计量光栅,计量光栅主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、振动等几何量的测量。

按其透射形式,光栅可分为透射式光栅和反射式光栅。刻划基面采用玻璃材料的为透射式光栅;刻划基面采用金属材料的为反射式光栅。按其栅线形式,光栅可分为黑白光栅(幅值光栅)和闪耀光栅(相位光栅)。黑白光栅是利用照相复制工艺加工而成,其栅线与缝隙为黑白相间结构;相位光栅的横断面呈锯齿状,常用刻划工艺加工而成。

按其应用类型,光栅可分为长光栅和圆光栅。长光栅又称为光栅尺,用于测量长度或线位移;圆光栅又称盘栅,用于测量角度或角位移。长光栅有透射式和反射式,而且均有黑白光栅和闪耀光栅;圆光栅一般只有透射式黑白光栅。目前还发展了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅。

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图10-9 透射光栅示意图

2.光栅结构

在镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹(又称为刻线),没有刻划的白的地方透光,刻划的发黑处不透光,这就是光栅。图10-9所示为一块黑白型透射长光栅的示意图,平行等距的刻线称为栅线。图中a为栅线的宽度(不透光),b为栅线间宽(透光),a+b=w称为光栅的栅距(也称光栅常数或光栅节距,是光栅的重要参数,用每毫米长度内的栅线数表示栅线密度,如100线/mm、250线/mm)。通常取a=b=w/2,也可刻成ab=1.1∶0.9。目前常用的光栅每毫米刻成10条、25条、50条、100条、250条线条。

所谓光栅传感器,就是在刻划基面上等间距(或不等间距)地密集刻划,使刻线处不透光,未刻线处透光,形成透光与不透光相间排列构成的光电器件。长光栅也称光栅尺,用于测量长度或直线位移。圆光栅还有一个参数叫栅距角γ或称节距角,它是指圆光栅上相邻两条栅线的夹角。光栅结构如图10-10所示。(www.xing528.com)

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图10-10 光栅结构

a)长光栅 b)圆光栅

圆光栅有三种栅线形式:一种是径向光栅,其栅线的延长线通过圆心;另一种是切向光栅,其栅线的延长线与光栅盘的一个小同心圆相切;还有一种是其栅线为一簇等间距同心圆组成的环形光栅。圆光栅通常在圆盘上刻有1080~64800条线。圆光栅也称为光栅盘,用来测量角度或角位移。圆光栅栅线如图10-11所示。按光线的走向,圆光栅只有投射光栅。

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图10-11 圆光栅栅线

a)径向光栅 b)切向光栅 c)环形光栅

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