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高精度霍尔式微位移传感器

时间:2023-06-30 理论教育 版权反馈
【摘要】:图6-20给出了一些霍尔式位移传感器的工作原理图。由于磁铁中间的磁感应强度B=0,因此霍尔元件输出的霍尔电动势UH也等于零,此时位移Δx=0。若霍尔元件在两磁铁中产生相对位移,霍尔元件感受到的磁感应强度也随之改变,这时UH不为零,其量值大小反映出霍尔元件与磁铁之间相对位置的变化量。图6-20c是一个由两个结构相同的磁路组成的霍尔式位移传感器。

高精度霍尔式微位移传感器

霍尔元件具有结构简单、体积小、动态特性好和寿命长的优点,它不仅用于磁感应强度、有功功率及电能参数的测量,也在位移测量中得到广泛应用。

图6-20给出了一些霍尔式位移传感器的工作原理图。图6-20a所示是磁场强度相同的两块永久磁铁,同极性相对地放置,霍尔元件处在两块磁铁的中间。由于磁铁中间的磁感应强度B=0,因此霍尔元件输出的霍尔电动势UH也等于零,此时位移Δx=0。若霍尔元件在两磁铁中产生相对位移,霍尔元件感受到的磁感应强度也随之改变,这时UH不为零,其量值大小反映出霍尔元件与磁铁之间相对位置的变化量。这种结构的传感器,其动态范围可达5mm,分辨率为0.001mm。

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图6-20 霍尔式位移传感器的工作原理图(www.xing528.com)

a)磁场强度相同传感器 b)简单的位移传感器 c)结构相同的位移传感器

图6-20b所示是一种结构简单的霍尔位移传感器。它是由一块永久磁铁组成磁路的传感器,在霍尔元件处于初始位置Δx=0时,霍尔电势UH不等于零。

图6-20c是一个由两个结构相同的磁路组成的霍尔式位移传感器。为了获得较好的线性分布,在磁极端面装有极靴,霍尔元件调整好初始位置时,可以使霍尔电动势UH=0。这种传感器灵敏度很高,但它所能检测的位移量较小,适合于微位移量及振动的测量。

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