【摘要】：微成形工模具的制造是微成形工艺实现的关键，建立在传统机械加工方法上的超精密机械加工仍然占有一席之地。除了工模具制造问题外，微成形中微小制件的夹持问题也是工艺装备中的重要内容。特别是在多道次成形中，需要将微米级的制件在多套模具上快速精确地夹持定位，而且还必须考虑微小制件与夹持定位装置之间的吸附问题。此外，专门用于微成形的设备也已相继问世，WAFIOS和SCHUK-ER公司分别研制出用于微成形的设备样机。
微成形工模具的制造是微成形工艺实现的关键，建立在传统机械加工方法上的超精密机械加工仍然占有一席之地。其特点是可实现复杂三维形体的加工，已成功地加工出10～100μm的微小三维构件，如线切割加工已经可以使用直径10μm的细丝加工冲裁和挤压模具；通过精磨可以获得直径只有60μm的微细冲头；通过激光切割也可以获得10um的结构形状。另外，近年来面向MEMS的多种微细加工技术也逐步发展起来，例如深反应离子蚀刻、硅微细加工、LIGA及准LIGA技术等，其加工手段包括电子束、离子束、光子束（紫外线、X射线及激光束）、原子束、分子束、等离子体、超声、微波、化学和电加工等，通过这些微细加工手段可以获得微米甚至纳米级的三维尺寸。除了工模具制造问题外，微成形中微小制件的夹持问题也是工艺装备中的重要内容。特别是在多道次成形中，需要将微米级的制件在多套模具上快速精确地夹持定位，而且还必须考虑微小制件与夹持定位装置之间的吸附问题（微小制件的重量小到必须考虑这种吸附力）。参考文献[32]介绍了一套带有真空吸头的传输装置，传输速度可达每秒413个制件、传输距离25mm、准确度5μm。此外，专门用于微成形的设备也已相继问世，WAFIOS和SCHUK-ER公司分别研制出用于微成形的设备样机。2000年日本研制出专门用于微细加工的桌面制造系统，此系统包括车床、磨床、夹持器、冲床等。目前这些设备还不能用于大规模生产，但毕竟具有里程碑式的意义。(www.xing528.com)
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