1.产生的原因 扫描电子显微镜观测过程中往往会出现图像失真的问题,可能的原因有以下几种。
(1)安装环境不合适,如电源线路不是专线,电流不稳。例如,当拍照时,电流大,图像就亮;电流小,图像暗。此外,如果仪器放置区域距离电梯、公路较近,或周围噪声较大,也会导致图像出现问题。
(2)不同类型的扫描电子显微镜在功能、原理上存在差异。例如,采用同样的制样方法,用一般扫描电子显微镜和环境扫描电子显微镜拍照的线虫图像都非常清晰,但环境扫描电子显微镜比一般扫描电子显微镜要结构清晰、立体感强,图像饱满。
(3)由于电子显微镜故障、保养不好而使电子显微镜性能下降。
(4)观察时操作和处理不恰当,如选择的观察指标不恰当、没有根据所观察试样的性质和观察内容进行质量控制。
(5)观察条件如电子束流的设置不理想。影响信噪比的重要因素是入射电子探针的束流强度。通过改变透镜电流,可在满足一定信噪比的前提下,实现分辨率和焦深的最佳效果。
(6)样品制作不理想。制样各环节掌握不恰当,如干燥不彻底,在观测时往往会产生放电现象或图像模糊。(www.xing528.com)
2.损伤 样品在利用扫描电子显微镜观测时受到的损伤有以下几种。
(1)真空损伤。动植物组织从大气中置入真空时会产生真空损伤。要避免真空损伤,制样技术是一个重要的环节。
(2)电子束损伤。射入样品的电子束所带的能量引起照射点的局部加热,造成化学结合的破坏以及放电所致的电气应力等现象。在低倍图像下观测不会引起损伤,在高倍观测时容易出现损伤,聚焦和消像散也可能在样品上留下意外的电子束损伤痕迹。为使电子束损伤降低到最小,必须降低加速电压,减少电子束电流(噪声增大),尽可能用低倍观察和拍照,加快扫描速度,干燥要彻底,加厚镀膜。但要注意,镀膜不能太厚,否则膜本身也会引起裂痕,导致反差下降。
3.污染 造成样品污染的情况有两种,一是样品表面残存的污染物;二是电子束引起的污染。在镜体真空中,污染物主要是碳氢化合物和残存水蒸气,这些物质会由于电子束照射而分解聚集到电子束照射的部位。这些聚集物一般都是非导体,往往会引起放电现象。
4.放电 大多数动植物组织以及高分子和纤维等非导电性样品,在真空中暴露于电子束之下会引起放电现象。其原因主要是由于样品脱水、干燥不彻底。要减轻放电现象,可采用降低加速电压,进行快速扫描,尽可能用低倍观察,干燥要彻底,加厚镀膜等方法。
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