第2章介绍的基于功能材料特殊属性（如压电效应、电致伸缩、超磁致伸缩、热致效应、记忆效应、弹性等）致动的各类微纳运动系统一般具有纳米级的高定位精度，但往往行程极小，一般在几微米到几十微米范围内。这种微纳运动实现技术随着行程的加大，其定位精度也因其表现出的迟滞、蠕动等非线性影响而大大降低，而且这类微纳运动系统的驱动能力、负载能力和刚度等也都较小，因此其在超精密技术领域的应用大大受到了限制。第5章介绍的基于电磁式及压电超声电机的微纳运动系统，虽然实现了大行程，但其定位精度相对较低，一般在微米级。第6章介绍的宏微复合微纳运动实现技术，较好地解决了大行程与高精度的矛盾，但是因为系统运动是宏动系统与微动系统的运动叠加合成，故系统整体性能多数“复映”了微动系统存在的固有缺陷。为此，在深入研究各种微纳运动系统优缺点的基础上，本章提出了宏宏复合微纳运动实现技术。
宏宏复合微纳运动系统实现微纳高精度分辨率的运动机理是：将传统的只能单一旋转驱动的滚珠丝杠副改进为丝杠、螺母可同时旋转驱动的滚珠丝杠副，基于螺旋传动差动复合原理，由两个电机同时驱动丝杠和螺母，做同向“准相等”（转速接近相等，旋转方向相同）的旋转驱动，便可实现工作台直线的微纳运动进给。丝杠、螺母两驱动件均在高于其临界爬行速度的转速下工作，这样两电机驱动轴处的非线性摩擦干扰对每个轴的影响就可以消除，两驱动轴可以避开非线性爬行区域。由以上分析可知，差动复合可以使工作台以一个极低的速度均匀地运动，而不会产生爬行。同时，该系统还可有多种工作方式：可以双伺服“差动”驱动，实现高精度的微纳进给控制；可以通过双伺服“和动”驱动，实现倍速快进控制；还可以由单一电机驱动进给。也就是说，该系统具有丝杠电机单独驱动、螺母电机单独驱动、丝杠螺母电机“差动”双驱动、丝杠螺母电机“和动”双驱动等多种工作方式。宏宏复合微纳运动系统不仅具有大行程和极高的位移分辨率，而且变速范围也大大增加。同时，该系统具有负载能力强、刚度大、抗扰能力强等特点，可满足不同场合、不同精度的工作需求。(www.xing528.com)
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