射频等离子体球化的操作技巧

球形钛粉制备流程为：

（1）建立稳定的氩气等离子体炬；

（2）从送料器将钛粉原料颗粒（携带氩气）经加料枪喷入等离子体炬中；

（3）钛粉颗粒在等离子体炬中在极短的时间内将吸收大量的热而快速融化，并以极快的速度进入水循环室冷却凝固后，最后进入收料仓中收集起来。

具体实验操作如下：

（1）开启总进水，开启水冷机组。

（2）按顺序开启总电源、射频电源、控制柜电源、水冷机组电源。

（3）开启送料控制柜上的“增压泵”。

（4）打开放气阀，确认机械泵和增压泵处于常压状态后关闭放气阀。

（5）开启送料控制柜上的机械泵，打开初抽阀，粗抽真空。(www.xing528.com)

（6）开启送料控制柜上罗茨泵，精抽真空。

（7）开启送气阀调节气体流量。

（8）灯丝预热。

（9）预热操作完成后，等离子体电弧被触发，点火。

（10）粉末原料进料准备，关闭送料口阀门，打开喂料器上端封盖，将准备加工的粉末装入后封好上盖，开始对送粉器抽真空，打开真空泵排气口，打开溢流阀，当真空度抽到不大于 25 kPa-以后，关闭溢流阀，关闭电源，等待3 s 后，关闭排气口。

（11）调节送料控制柜上的气量，设置进料参数。

（12）打开送粉器进料阀，送氩气。

（13）等离子体运行稳定，开始输送原料粉末到等离子体，球化实验开始。

（14）根据实验所需产品量，设定实验时间，完成后，关闭喂料RUN，等待 1 min 后，关闭送粉器阀门，关闭蝶阀，取下收料罐，取出样品。