ZnO气体传感器的气敏特性分析

一种良好的ZnO 气体传感器的主要气敏特性要求在以下几个方面体现其优越性。

（1）灵敏度

灵敏度是指待测气体进入前电阻Rair 和进入后电阻Rgas 的比值，即S=Rair/Rgas。灵敏度是气体传感器的一个重要参数，标志着气体传感器对气体的敏感程度，灵敏度越高，则表示气敏元件可以检测到越低的气体浓度。灵敏度决定了测量精度。

（2）响应恢复时间

从气敏元件与被测气体接触到气敏元件的阻值达到新稳定值所需要的时间称为响应时间，它表示气敏元件对被测气体浓度的反应快慢。

（3）选择性

在多种气体共存的条件下，气敏元件区分气体种类的能力称为选择性。对某种气体的选择性好就表示气敏元件对它有较高的灵敏度。选择性是气敏元件的重要参数，也是目前较难解决的问题之一。

（4）稳定性(www.xing528.com)

当气体浓度不变，若其他条件发生变化时，在规定的时间内气敏元件输出特性维持不变的能力称为稳定性。稳定性表示气敏元件对气体浓度以外的各种因素的抵抗能力。

（5）温度特性

气敏元件随着温度变化的特性称为温度特性。温度有元件自身温度和环境温度之分，这两种温度对灵敏度都有影响，元件自身温度对灵敏度的影响与所用的材料有关。环境温度对灵敏度的影响相当大，解决这个问题的措施之一就是采用温度补偿方法。

（6）湿度特性

气敏元件的灵敏度随着环境湿度变化的特性称为湿度特性。湿度特性是影响检测精度的另一个因素。解决这个问题的措施之一就是采用湿度补偿方法。

本书主要从ZnO 气敏材料的灵敏度、选择性、稳定性、响应恢复时间和湿度特性等方面进行研究，试图研究出一种具有高选择性、高灵敏度、响应恢复时间短、稳定性好、抗湿性强的气体传感器。