【摘要】：中国专家则定义为：是指微型化的器件或器件组合，把电子功能与机械、光学或其他的功能相结合的综合集成系统，它采用了微型结构，使之能在极小的空间内达到智能化的功效。MEMS传感器是MEMS技术在传感器领域的应用。它不仅在尺寸上是微小的，而且是用微细加工技术制备的传感器，具有集成性、阵列性、智能型等特点。本节将重点介绍MEMS传感器中的力学传感器—微型力/力矩传感器、压力传感器、陀螺仪及加速度计。
微机电系统（Micro Electro-Mechanical System，MEMS），又称为微机械（Micromechine）
或者微系统（Microsystems），是在20世纪80年代后期兴起，21世纪初开始快速发展的高科技前沿技术，目前已经广泛应用于航空航天、汽车、生物医学科技、通信、国防、环保等领域。它的定义由于各国技术水平的差异而有着不同版本。美国的定义：它是由电子和机械元件组成的集成微器件、微系统，采用与集成电路兼容的工艺制造，可批量生产，并将计算、传感与执行融合为一体，尺度在微米到毫米之间。中国专家则定义为：是指微型化的器件或器件组合，把电子功能与机械、光学或其他的功能相结合的综合集成系统，它采用了微型结构（包括集成微电子、微传感器和微执行器；这里“微”是相对于宏观而言），使之能在极小的空间内达到智能化的功效。(www.xing528.com)
MEMS传感器是MEMS技术在传感器领域的应用。它具有与普通传感器一样的敏感机理，将敏感元件与信号处理线路集成在同一芯片上（Built-in），输出与测量值对应的电压、电流或数字信号。它不仅在尺寸上是微小的（级，正向run级发展），而且是用微细加工技术制备的传感器，具有集成性、阵列性、智能型等特点。本节将重点介绍MEMS传感器中的力学传感器—微型力/力矩传感器、压力传感器、陀螺仪及加速度计。
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