【摘要】：电容式传感器常用的是平板电容器和圆筒形电容器。这样，电容式传感器可依此划分为三种类型，即变间隙型（δ变化）、变面积型（A变化）和变介质型。在实际使用中，电容式传感器常以改变平行板间距δ来进行测量，因为这样获得的测量灵敏度更高。
1）平板电容器
平板电容器由两个金属平行板组成，通常以空气为介质，如图3.1所示。
图3.1 平板电容器
在忽略边缘效应时，平行板电容器的电容为
式中 C——电容量（F）；
ε0——真空介电常数，ε0=8.85×10-12F/m；
εr——极板间介质的相对介电常数；(www.xing528.com)
A——极板的有效面积（m2）；
δ——两平行极板间的距离（m）。
2）圆筒形电容器
圆筒形电容器由内外两个金属圆筒组成，如图3.2所示。设动极筒的外半径为r，定极筒的内半径为R，动极筒伸进定极筒的长度为l，则圆筒形电容器的电容为
图3.2 圆筒形电容器
当被测非电量使得式（3.1）中的A、δ或εr发生变化时，电容量C也随之变化，如果保持其中两个参数不变而仅仅改变另一个参数，就可把被测参数的变化转换为电容量的变化，因此，电容量变化的大小与被测参数的大小成比例。这样，电容式传感器可依此划分为三种类型，即变间隙型（δ变化）、变面积型（A变化）和变介质型（εr变化）。在实际使用中，电容式传感器常以改变平行板间距δ来进行测量，因为这样获得的测量灵敏度更高。
这里重点介绍变间隙型（变极距型）电容传感器。
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