【摘要】：从结构和材料性质上来分，电阻应变计可分为金属丝式应变计、金属箔式应变计和半导体应变计。目前，箔式应变计使用范围日益扩大，已逐渐取代金属丝式应变计。半导体应变计有体型和扩散型两种。半导体应变计的灵敏系数为金属丝式应变计灵敏系数的50～80倍，这样高的灵敏系数解决了处理微弱信号的困难，从而大大简化了线路。
从结构和材料性质上来分，电阻应变计可分为金属丝式应变计、金属箔式应变计和半导体应变计。
金属箔式应变计的工作原理与金属丝式应变计的完全相同，只是它的敏感栅由很薄的金属箔片制成，采用了光刻、腐蚀等工序，其基底为胶基，如图2.2l所示。
图2.21 箔式应变片
箔式应变计的横向部分特别粗，可大大减少横向效应；另外，箔式应变计与黏合层的接触面大，能更好地随同试件变形；箔式应变计表面面积大，散热条件好，允许通过较大的电流，因此可采用较高的电压供给测量电桥，以增加输出电流的强度。目前，箔式应变计使用范围日益扩大，已逐渐取代金属丝式应变计。(www.xing528.com)
半导体应变计有体型和扩散型两种。体型半导体应变计是直接用单晶硅经光刻、腐蚀等工艺制成敏感栅，再黏结在基底上，结构如图2.22所示。
图2.22 半导体应变片
目前应用越来越多的是扩散型半导体应变计，它是在感压硅膜上采用集成工艺扩散技术形成力敏电阻，将膜片和力敏电阻做成一体，不需粘贴，精度高，容易实现小型化，抗振和耐冲击能力强，是目前应用最普遍的一种类型。
半导体应变计的灵敏系数为金属丝式应变计灵敏系数的50～80倍，这样高的灵敏系数解决了处理微弱信号的困难，从而大大简化了线路。
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